- English
- Español
- Português
- русский
- Français
- 日本語
- Deutsch
- tiếng Việt
- Italiano
- Nederlands
- ภาษาไทย
- Polski
- 한국어
- Svenska
- magyar
- Malay
- বাংলা ভাষার
- Dansk
- Suomi
- हिन्दी
- Pilipino
- Türkçe
- Gaeilge
- العربية
- Indonesia
- Norsk
- تمل
- český
- ελληνικά
- український
- Javanese
- فارسی
- தமிழ்
- తెలుగు
- नेपाली
- Burmese
- български
- ລາວ
- Latine
- Қазақша
- Euskal
- Azərbaycan
- Slovenský jazyk
- Македонски
- Lietuvos
- Eesti Keel
- Română
- Slovenski
- मराठी
- Srpski језик
Kina Tantalkarbidbelegg produsent, leverandør, fabrikk
VeTek semiconductor er en ledende produsent av tantalkarbidbeleggmaterialer for halvlederindustrien. Våre hovedprodukttilbud inkluderer CVD-tantalkarbidbeleggdeler, sintrede TaC-beleggsdeler for SiC-krystallvekst eller halvlederepitaksiprosess. Bestått ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontroll på kvalitet. VeTek Semiconductor er dedikert til å bli innovatør i tantalkarbidbeleggindustrien gjennom pågående forskning og utvikling av iterative teknologier.
Hovedproduktene erTantalkarbidbeleggsavlederring, TaC-belagt avledningsring, TaC-belagte halvmånedeler, Tantalkarbidbelagt planetrotasjonsskive (Aixtron G10), TaC-belagt smeltedigel; TaC-belagte ringer; TaC-belagt porøs grafitt; Tantalkarbidbelegg Grafittsusceptor; TaC-belagt guidering; TaC Tantalkarbidbelagt plate; TaC-belagt Wafer Susceptor; TaC belegg ring; TaC belegg grafittdeksel; TaC Coated Chunketc., renheten er under 5 ppm, kan møte kundens krav.
TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD). Fordelen er vist på bildet nedenfor:
Tantalkarbidbelegget (TaC) har fått oppmerksomhet på grunn av dets høye smeltepunkt på opptil 3880°C, utmerket mekanisk styrke, hardhet og motstand mot termiske støt, noe som gjør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiske prosesser med høyere temperaturkrav, slik som Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiprosess. Den har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystallvekstprosessen.
Nøkkelfunksjoner:
●Temperaturstabilitet
●Ultra høy renhet
●Motstand mot H2, NH3, SiH4,Si
●Motstand mot termisk lager
●Sterk vedheft til grafitt
●Konform beleggdekning
● Størrelse opp til 750 mm diameter (den eneste produsenten i Kina når denne størrelsen)
Søknader:
● Induktiv varmemottaker
● Resistivt varmeelement
● Varmeskjold
Tantalkarbid (TaC) belegg på et mikroskopisk tverrsnitt:
Parameter for VeTek Semiconductor Tantalkarbidbelegg:
| Fysiske egenskaper til TaC-belegg | |
| Tetthet | 14,3 (g/cm³) |
| Spesifikk emissivitet | 0.3 |
| Termisk ekspansjonskoeffisient | 6,3 10-6/K |
| Hardhet (HK) | 2000 HK |
| Motstand | 1×10-5Ohm*cm |
| Termisk stabilitet | <2500℃ |
| Grafittstørrelsen endres | -10~-20um |
| Beleggtykkelse | ≥20um typisk verdi (35um±10um) |
TaC-belegg EDX-data：
TaC belegg krystallstruktur data:
| Element | Atomprosent | |||
| Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Gjennomsnittlig | |
| C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
- View as
TaC belegg rotasjonsplate
VeTek Semiconductor's TaC Coating Rotation Plate har et enestående TaC-belegg, Med sitt eksepsjonelle TaC-belegg har TaC Coating Rotation Plate bemerkelsesverdig motstand mot høye temperaturer og kjemisk treghet, som skiller den fra tradisjonelle løsninger. Vi er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser. priser og ser frem til å være din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørsel
TaC beleggplate
VeTek Semiconductors TaC Coating Plate er et bemerkelsesverdig produkt som tilbyr eksepsjonelle funksjoner og fordeler. Designet med presisjon og konstruert til perfeksjon, vår TaC Coating Plate er spesielt skreddersydd for ulike bruksområder i silisiumkarbid (SiC) enkeltkrystallvekstprosesser. TaC Coating Plate sine presise dimensjoner og robuste konstruksjon gjør den enkel å integrere i eksisterende systemer, og sikrer sømløs kompatibilitet og effektiv drift. Dens pålitelige ytelse og høykvalitetsbelegg bidrar til konsistente og ensartede resultater i SiC-krystallvekstapplikasjoner. Vi er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser og ser frem til å være din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørsel
CVD TaC beleggdeksel
CVD TaC-beleggsdeksel levert av VeTek Semiconductor er en høyt spesialisert komponent designet spesielt for krevende bruksområder. Med sine avanserte funksjoner og eksepsjonelle ytelse, tilbyr vårt CVD TaC-beleggsdeksel flere viktige fordeler. Vårt CVD TaC-beleggsdeksel gir den nødvendige beskyttelsen og ytelsen som kreves for å lykkes. Vi ser frem til å utforske potensielt samarbeid med deg!
Les merSend forespørsel
TaC Coating Planetary Susceptor
VeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor er et eksepsjonelt produkt for Aixtron-epitaksiutstyr. Det robuste TaC-belegget gir utmerket motstand mot høye temperaturer og kjemisk inerthet. Denne unike kombinasjonen sikrer pålitelig ytelse og lang levetid, selv i krevende miljøer. VeTek er forpliktet til å tilby produkter av høy kvalitet og tjene som en langsiktig partner i det kinesiske markedet med konkurransedyktige priser.
Les merSend forespørsel
TaC Coating Pidestall Support Plate
VeTek Semiconductors TaC Coating Pedestal Support Plate er et høypresisjonsprodukt designet for å møte de spesifikke kravene til halvlederepitaksiprosesser. Med sitt TaC-belegg, motstand mot høye temperaturer og kjemisk treghet gir produktet vårt deg i stand til å produsere høykvalitets EPI-lag med høy kvalitet. Vi er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser og ser frem til å være din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørsel
TaC Coating Chuck
VeTek Semiconductors TaC Coating Chuck har et høykvalitets TaC-belegg, kjent for sin enestående motstand mot høye temperaturer og kjemisk inerthet, spesielt i silisiumkarbid (SiC) epitaksi (EPI) prosesser. Med sine eksepsjonelle egenskaper og overlegne ytelse tilbyr vår TaC Coating Chuck flere viktige fordeler. Vi er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser og ser frem til å være din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørsel
Som en profesjonell Tantalkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar Tantalkarbidbelegg laget i Kina, kan du legge igjen en melding.
