VeTek semiconductor er en ledende produsent av tantalkarbidbeleggmaterialer for halvlederindustrien. Våre hovedprodukttilbud inkluderer CVD-tantalkarbidbeleggdeler, sintrede TaC-beleggsdeler for SiC-krystallvekst eller halvlederepitaksiprosess. Bestått ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontroll på kvalitet. VeTek Semiconductor er dedikert til å bli innovatør i tantalkarbidbeleggindustrien gjennom pågående forskning og utvikling av iterative teknologier.
Hovedproduktene erTantalkarbidbeleggsavlederring, TaC-belagt avledningsring, TaC-belagte halvmånedeler, Tantalkarbidbelagt planetrotasjonsskive (Aixtron G10), TaC-belagt smeltedigel; TaC-belagte ringer; TaC-belagt porøs grafitt; Tantalkarbidbelegg Grafittsusceptor; TaC-belagt guidering; TaC Tantalkarbidbelagt plate; TaC-belagt Wafer Susceptor; TaC belegg ring; TaC belegg grafittdeksel; TaC Coated Chunketc., renheten er under 5 ppm, kan møte kundens krav.
TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD). Fordelen er vist på bildet nedenfor:
Tantalkarbidbelegget (TaC) har fått oppmerksomhet på grunn av dets høye smeltepunkt på opptil 3880°C, utmerket mekanisk styrke, hardhet og motstand mot termiske støt, noe som gjør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiske prosesser med høyere temperaturkrav, slik som Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiprosess. Den har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystallvekstprosessen.
●Temperaturstabilitet
●Ultra høy renhet
●Motstand mot H2, NH3, SiH4,Si
●Motstand mot termisk lager
●Sterk vedheft til grafitt
●Konform beleggdekning
● Størrelse opp til 750 mm diameter (den eneste produsenten i Kina når denne størrelsen)
● Induktiv varmemottaker
● Resistivt varmeelement
● Varmeskjold
Fysiske egenskaper til TaC-belegg | |
Tetthet | 14,3 (g/cm³) |
Spesifikk emissivitet | 0.3 |
Termisk ekspansjonskoeffisient | 6,3 10-6/K |
Hardhet (HK) | 2000 HK |
Motstand | 1×10-5Ohm*cm |
Termisk stabilitet | <2500℃ |
Grafittstørrelsen endres | -10~-20um |
Beleggtykkelse | ≥20um typisk verdi (35um±10um) |
Element | Atomprosent | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Gjennomsnittlig | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductors CVD TaC Coating Ring er en svært fordelaktig komponent designet for å møte de krevende kravene til silisiumkarbid (SiC) krystallvekstprosesser. CVD TaC Coating Ring gir enestående motstand mot høye temperaturer og kjemisk inerthet, noe som gjør den til et ideelt valg for miljøer preget av høye temperaturer og korrosive forhold. Vi er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser og ser frem til å være din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselLPE SiC Epi Halfmoon av VeTek Semiconductor, et revolusjonerende produkt designet for å heve LPE-reaktor SiC-epitaksiprosesser. Denne banebrytende løsningen har flere nøkkelfunksjoner som sikrer overlegen ytelse og effektivitet gjennom hele produksjonsoperasjonen. Ser frem til å etablere et langsiktig samarbeid med deg.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en ledende leverandør av TaC-belegg og SiC-belegg grafittdeler. Vi spesialiserer oss på produksjon av banebrytende LED EPI Susceptorer, essensielle for LED-epitaksiprosesser. Med sterkt fokus på innovasjon og kvalitet tilbyr vi pålitelige løsninger som oppfyller de strenge kravene til LED-industrien. Kontakt oss i dag for å diskutere dine henvendelser og finne ut hvordan produktene våre kan forbedre produksjonsprosessene dine.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en omfattende leverandør involvert i forskning, utvikling, produksjon, design og salg av TaC-belegg og SiC-beleggsdeler. Vår ekspertise ligger i produksjonen av toppmoderne MOCVD Susceptor med TaC Coating, som spiller en viktig rolle i LED-epitaksiprosessen. Vi ønsker deg velkommen til å diskutere med oss forespørsler og ytterligere informasjon.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en integrert leverandør som driver med forskning og utvikling, produksjon, design og salg av TaC-belegg. Vi spesialiserer oss på å produsere kantskjærende TaC-belagte UV LED-susceptorer, som er avgjørende komponenter i LED-epitaxiprosessen. Vår TaC Coated Deep UV LED Susceptor tilbyr høy termisk ledningsevne, høy mekanisk styrke, forbedret produksjonseffektivitet og epitaksial waferbeskyttelse. Velkommen til å spørre oss.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er den ledende produsenten og leverandøren i Kina for Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, vi spesialiserte oss på FoU og produksjon, kan kontrollere kvaliteten godt og tilby en konkurransedyktig pris. Du er velkommen til å besøke fabrikken vår for videre diskusjon om et langsiktig samarbeid.
Les merSend forespørsel