VeTek semiconductor er en ledende produsent av tantalkarbidbeleggmaterialer for halvlederindustrien. Våre hovedprodukttilbud inkluderer CVD-tantalkarbidbeleggdeler, sintrede TaC-beleggsdeler for SiC-krystallvekst eller halvlederepitaksiprosess. Bestått ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontroll på kvalitet. VeTek Semiconductor er dedikert til å bli innovatør i tantalkarbidbeleggindustrien gjennom pågående forskning og utvikling av iterative teknologier.
Hovedproduktene erTantalkarbidbeleggsavlederring, TaC-belagt avledningsring, TaC-belagte halvmånedeler, Tantalkarbidbelagt planetrotasjonsskive (Aixtron G10), TaC-belagt smeltedigel; TaC-belagte ringer; TaC-belagt porøs grafitt; Tantalkarbidbelegg Grafittsusceptor; TaC-belagt guidering; TaC Tantalkarbidbelagt plate; TaC-belagt Wafer Susceptor; TaC belegg ring; TaC belegg grafittdeksel; TaC Coated Chunketc., renheten er under 5 ppm, kan møte kundens krav.
TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD). Fordelen er vist på bildet nedenfor:
Tantalkarbidbelegget (TaC) har fått oppmerksomhet på grunn av dets høye smeltepunkt på opptil 3880°C, utmerket mekanisk styrke, hardhet og motstand mot termiske støt, noe som gjør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiske prosesser med høyere temperaturkrav, slik som Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiprosess. Den har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystallvekstprosessen.
●Temperaturstabilitet
●Ultra høy renhet
●Motstand mot H2, NH3, SiH4,Si
●Motstand mot termisk lager
●Sterk vedheft til grafitt
●Konform beleggdekning
● Størrelse opp til 750 mm diameter (den eneste produsenten i Kina når denne størrelsen)
● Induktiv varmemottaker
● Resistivt varmeelement
● Varmeskjold
Fysiske egenskaper til TaC-belegg | |
Tetthet | 14,3 (g/cm³) |
Spesifikk emissivitet | 0.3 |
Termisk ekspansjonskoeffisient | 6,3 10-6/K |
Hardhet (HK) | 2000 HK |
Motstand | 1×10-5Ohm*cm |
Termisk stabilitet | <2500℃ |
Grafittstørrelsen endres | -10~-20um |
Beleggtykkelse | ≥20um typisk verdi (35um±10um) |
Element | Atomprosent | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Gjennomsnittlig | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Porøs grafitt med TaC Coated er et avansert halvlederbehandlingsmateriale levert av VeTek Semiconductor. Porøs grafitt med TaC-belagt kombinerer fordelene med porøst grafitt- og tantalkarbid-belegg (TaC), med god varmeledningsevne og gasspermeabilitet. VeTek Semiconductor er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, og vi ser frem til å være din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en ledende produsent og innovatør av tantalkarbidbelegg i Kina. Vi fokuserer på å tilby tantalkarbidprodukter med høy renhet og høy temperaturbestandighet. Vårt tantalkarbidbelagte deksel har utmerket ytelse og pålitelighet, og kan effektivt beskytte materialer i ekstremt høye temperaturer og korrosive miljøer. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductors TaC-belagte deflektorring er en høyt spesialisert komponent designet for SiC-krystallvekstprosesser. TaC-belegget gir utmerket motstand mot høye temperaturer og kjemisk inerthet for å takle de høye temperaturene og korrosive miljøene under krystallvekstprosessen. Dette sikrer stabil ytelse og lang levetid for komponenten, og reduserer hyppigheten av utskifting og nedetid. Vi er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser og ser frem til å være din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en ledende tantalkarbidbelagt rør for krystallvekstprodusent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på keramisk belegg i mange år. Våre produkter har høy renhet og høy temperaturbestandighet. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en storskala TaC-belagt ring for SiC Epitaxial Reactor-produsent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på TaC-belegg i mange år. Våre produkter har høy renhet, høy stabilitet, utmerket korrosjonsbestandighet, høy bindingsstyrke. frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en storskala tantalkarbidbelagt halvmånedel for LPE-produsent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på TaC-belegg i mange år. Produktene våre tåler temperaturer over 2000 grader Celsius, forlenger levetiden til forbruksvarer. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørsel