Hjem > Produkter > Tantalkarbidbelegg

Kina Tantalkarbidbelegg produsent, leverandør, fabrikk

VeTek semiconductor er en ledende produsent av tantalkarbidbeleggmaterialer for halvlederindustrien. Våre hovedprodukttilbud inkluderer CVD-tantalkarbidbeleggdeler, sintrede TaC-beleggsdeler for SiC-krystallvekst eller halvlederepitaksiprosess. Bestått ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontroll på kvalitet. VeTek Semiconductor er dedikert til å bli innovatør i tantalkarbidbeleggindustrien gjennom pågående forskning og utvikling av iterative teknologier.


Hovedproduktene erTantalkarbidbeleggsavlederring, TaC-belagt avledningsring, TaC-belagte halvmånedeler, Tantalkarbidbelagt planetrotasjonsskive (Aixtron G10), TaC-belagt smeltedigel; TaC-belagte ringer; TaC-belagt porøs grafitt; Tantalkarbidbelegg Grafittsusceptor; TaC-belagt guidering; TaC Tantalkarbidbelagt plate; TaC-belagt Wafer Susceptor; TaC belegg ring; TaC belegg grafittdeksel; TaC Coated Chunketc., renheten er under 5 ppm, kan møte kundens krav.


TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD). Fordelen er vist på bildet nedenfor:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalkarbidbelegget (TaC) har fått oppmerksomhet på grunn av dets høye smeltepunkt på opptil 3880°C, utmerket mekanisk styrke, hardhet og motstand mot termiske støt, noe som gjør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiske prosesser med høyere temperaturkrav, slik som Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiprosess. Den har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystallvekstprosessen.


Nøkkelfunksjoner:

 ●Temperaturstabilitet

 ●Ultra høy renhet

 ●Motstand mot H2, NH3, SiH4,Si

 ●Motstand mot termisk lager

 ●Sterk vedheft til grafitt

 ●Konform beleggdekning

 Størrelse opp til 750 mm diameter (den eneste produsenten i Kina når denne størrelsen)


Søknader:

 ●Waferbærer

 ● Induktiv varmemottaker

 ● Resistivt varmeelement

 ●Satellitt disk

 ●Dusjhode

 ●Føringsring

 ●LED Epi-mottaker

 ●Injeksjonsdyse

 ●Maskeringsring

 ● Varmeskjold


Tantalkarbid (TaC) belegg på et mikroskopisk tverrsnitt:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter for VeTek Semiconductor Tantalkarbidbelegg:

Fysiske egenskaper til TaC-belegg
Tetthet 14,3 (g/cm³)
Spesifikk emissivitet 0.3
Termisk ekspansjonskoeffisient 6,3 10-6/K
Hardhet (HK) 2000 HK
Motstand 1×10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500℃
Grafittstørrelsen endres -10~-20um
Beleggtykkelse ≥20um typisk verdi (35um±10um)


TaC-belegg EDX-data

EDX data of TaC coating


TaC belegg krystallstruktur data:

Element Atomprosent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Gjennomsnittlig
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Porøs grafitt med TaC-belagt

Porøs grafitt med TaC-belagt

Porøs grafitt med TaC Coated er et avansert halvlederbehandlingsmateriale levert av VeTek Semiconductor. Porøs grafitt med TaC-belagt kombinerer fordelene med porøst grafitt- og tantalkarbid-belegg (TaC), med god varmeledningsevne og gasspermeabilitet. VeTek Semiconductor er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, og vi ser frem til å være din langsiktige partner i Kina.

Les merSend forespørsel
Tantalkarbidbeleggsdeksel

Tantalkarbidbeleggsdeksel

VeTek Semiconductor er en ledende produsent og innovatør av tantalkarbidbelegg i Kina. Vi fokuserer på å tilby tantalkarbidprodukter med høy renhet og høy temperaturbestandighet. Vårt tantalkarbidbelagte deksel har utmerket ytelse og pålitelighet, og kan effektivt beskytte materialer i ekstremt høye temperaturer og korrosive miljøer. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les merSend forespørsel
TaC-belagt deflektorring

TaC-belagt deflektorring

VeTek Semiconductors TaC-belagte deflektorring er en høyt spesialisert komponent designet for SiC-krystallvekstprosesser. TaC-belegget gir utmerket motstand mot høye temperaturer og kjemisk inerthet for å takle de høye temperaturene og korrosive miljøene under krystallvekstprosessen. Dette sikrer stabil ytelse og lang levetid for komponenten, og reduserer hyppigheten av utskifting og nedetid. Vi er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser og ser frem til å være din langsiktige partner i Kina.

Les merSend forespørsel
Tantalkarbidbelagt rør for krystallvekst

Tantalkarbidbelagt rør for krystallvekst

VeTek Semiconductor er en ledende tantalkarbidbelagt rør for krystallvekstprodusent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på keramisk belegg i mange år. Våre produkter har høy renhet og høy temperaturbestandighet. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les merSend forespørsel
TaC-belagt ring for SiC epitaksialreaktor

TaC-belagt ring for SiC epitaksialreaktor

VeTek Semiconductor er en storskala TaC-belagt ring for SiC Epitaxial Reactor-produsent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på TaC-belegg i mange år. Våre produkter har høy renhet, høy stabilitet, utmerket korrosjonsbestandighet, høy bindingsstyrke. frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les merSend forespørsel
Tantalkarbidbelagt halvmånedel for LPE

Tantalkarbidbelagt halvmånedel for LPE

VeTek Semiconductor er en storskala tantalkarbidbelagt halvmånedel for LPE-produsent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på TaC-belegg i mange år. Produktene våre tåler temperaturer over 2000 grader Celsius, forlenger levetiden til forbruksvarer. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les merSend forespørsel
<...56789>
Som en profesjonell Tantalkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar Tantalkarbidbelegg laget i Kina, kan du legge igjen en melding.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept