Hjem > Produkter > Tantalkarbidbelegg

Kina Tantalkarbidbelegg produsent, leverandør, fabrikk

VeTek semiconductor er en ledende produsent av tantalkarbidbeleggmaterialer for halvlederindustrien. Våre hovedprodukttilbud inkluderer CVD-tantalkarbidbeleggdeler, sintrede TaC-beleggsdeler for SiC-krystallvekst eller halvlederepitaksiprosess. Bestått ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontroll på kvalitet. VeTek Semiconductor er dedikert til å bli innovatør i tantalkarbidbeleggindustrien gjennom pågående forskning og utvikling av iterative teknologier.


Hovedproduktene erTantalkarbidbeleggsavlederring, TaC-belagt avledningsring, TaC-belagte halvmånedeler, Tantalkarbidbelagt planetrotasjonsskive (Aixtron G10), TaC-belagt smeltedigel; TaC-belagte ringer; TaC-belagt porøs grafitt; Tantalkarbidbelegg Grafittsusceptor; TaC-belagt guidering; TaC Tantalkarbidbelagt plate; TaC-belagt Wafer Susceptor; TaC belegg ring; TaC belegg grafittdeksel; TaC Coated Chunketc., renheten er under 5 ppm, kan møte kundens krav.


TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD). Fordelen er vist på bildet nedenfor:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalkarbidbelegget (TaC) har fått oppmerksomhet på grunn av dets høye smeltepunkt på opptil 3880°C, utmerket mekanisk styrke, hardhet og motstand mot termiske støt, noe som gjør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiske prosesser med høyere temperaturkrav, slik som Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiprosess. Den har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystallvekstprosessen.


Nøkkelfunksjoner:

 ●Temperaturstabilitet

 ●Ultra høy renhet

 ●Motstand mot H2, NH3, SiH4,Si

 ●Motstand mot termisk lager

 ●Sterk vedheft til grafitt

 ●Konform beleggdekning

 Størrelse opp til 750 mm diameter (den eneste produsenten i Kina når denne størrelsen)


Søknader:

 ●Waferbærer

 ● Induktiv varmemottaker

 ● Resistivt varmeelement

 ●Satellitt disk

 ●Dusjhode

 ●Føringsring

 ●LED Epi-mottaker

 ●Injeksjonsdyse

 ●Maskeringsring

 ● Varmeskjold


Tantalkarbid (TaC) belegg på et mikroskopisk tverrsnitt:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter for VeTek Semiconductor Tantalkarbidbelegg:

Fysiske egenskaper til TaC-belegg
Tetthet 14,3 (g/cm³)
Spesifikk emissivitet 0.3
Termisk ekspansjonskoeffisient 6,3 10-6/K
Hardhet (HK) 2000 HK
Motstand 1×10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500℃
Grafittstørrelsen endres -10~-20um
Beleggtykkelse ≥20um typisk verdi (35um±10um)


TaC-belegg EDX-data

EDX data of TaC coating


TaC belegg krystallstruktur data:

Element Atomprosent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Gjennomsnittlig
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TaC-belagt ring med tre kronblad

TaC-belagt ring med tre kronblad

VeTek Semiconductor er en ledende produsent av TaC-belagte trebladsringer og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på TaC- og SiC-belegg i mange år. Våre produkter har en korrosjonsbestandighet, høy styrke. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les merSend forespørsel
Tantalkarbidbelagt chuck

Tantalkarbidbelagt chuck

VeTek Semiconductor er en ledende produsent og innovatør av tantalkarbidbelagt chuck i Kina. Vi har vært spesialisert på TaC-belegg i mange år. Våre produkter har høy renhet og høy temperaturbestandighet opp til 2000 ℃. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les merSend forespørsel
Tantalkarbidbelagt deksel

Tantalkarbidbelagt deksel

VeTek Semiconductor er en ledende produsent av tantalkarbidbelagt deksel og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på TaC- og SiC-belegg i mange år. Våre produkter har en korrosjonsbestandighet, høy styrke. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les merSend forespørsel
Ultra Pure Graphite Nedre Halfmoon

Ultra Pure Graphite Nedre Halfmoon

VeTek Semiconductor er en ledende leverandør av tilpasset Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon i Kina, og har spesialisert seg på avanserte materialer i mange år. Vår Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon er spesielt designet for SiC epitaksielt utstyr, og sikrer utmerket ytelse. Laget av ultraren importert grafitt, gir den pålitelighet og holdbarhet. Besøk fabrikken vår i Kina for å utforske vår høykvalitets Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon førstehånds.

Les merSend forespørsel
Øvre halvmånedel SiC-belagt

Øvre halvmånedel SiC-belagt

VeTek Semiconductor er en ledende leverandør av tilpasset SiC-belagt øvre halvmånedel i Kina, og har spesialisert seg på avanserte materialer i over 20 år. VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part SiC-belagt er spesielt designet for SiC epitaksielt utstyr, og fungerer som en avgjørende komponent i reaksjonskammeret. Laget av ultraren grafitt i halvlederkvalitet, sikrer den utmerket ytelse. Vi inviterer deg til å besøke fabrikken vår i Kina.

Les merSend forespørsel
Silisiumkarbid Epitaxy Wafer Carrier

Silisiumkarbid Epitaxy Wafer Carrier

VeTek Semiconductor er en ledende tilpasset Silicon Carbide Epitaxy Wafer Carrier-leverandør i Kina. Vi har vært spesialisert på avansert materiale i mer enn 20 år.Vi tilbyr en Silicon Carbide Epitaxy Wafer Carrier for å bære SiC-substrat, voksende SiC-epitaksilag i SiC-epitaksialreaktor. Denne silisiumkarbidepitaxy wafer-bæreren er en viktig SiC-belagt del av halvmånedelen, motstand mot høy temperatur, oksidasjonsmotstand, slitestyrke. Vi ønsker deg velkommen til å besøke vår fabrikk i Kina.

Les merSend forespørsel
<...56789>
Som en profesjonell Tantalkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar Tantalkarbidbelegg laget i Kina, kan du legge igjen en melding.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept