MOCVD Susceptor med TaC-belegg

VeTek Semiconductor er en ledende kinesisk produsent, leverandør og eksportør som spesialiserer seg på MOCVD Susceptor med TaC Coating. Du er velkommen til å komme til fabrikken vår for å kjøpe de siste salgs-, lavpris- og høykvalitets MOCVD-susceptorer med TaC-belegg. Vi ser frem til å samarbeide med deg.

LED-epitaksi møter utfordringer som krystallkvalitetskontroll, materialvalg og matching, strukturell design og optimalisering, prosesskontroll og konsistens, og lysutvinningseffektivitet. Å velge riktig epitaksisk wafer-bærermateriale er avgjørende, og belegg det med tantalkarbid (TaC) tynnfilm (TaC-belegg) gir ytterligere fordeler.

Når du velger et epitaksisk wafer-bærermateriale, må flere nøkkelfaktorer vurderes:

Temperaturtoleranse og kjemisk stabilitet: LED-epitaksiprosesser involverer høye temperaturer og kan involvere bruk av kjemikalier. Derfor er det nødvendig å velge materialer med god temperaturtoleranse og kjemisk stabilitet for å sikre stabiliteten til bæreren i høye temperaturer og kjemiske miljøer.

Overflateflathet og slitestyrke: Overflaten på epitaksiflatebæreren bør ha god flathet for å sikre jevn kontakt og stabil vekst av epitaksivelaten. I tillegg er slitestyrke viktig for å forhindre overflateskader og slitasje.

Termisk ledningsevne: Å velge et materiale med god varmeledningsevne hjelper til med å spre varme effektivt, opprettholde en stabil veksttemperatur for epitaksilaget og forbedre prosessstabilitet og konsistens.

I denne forbindelse gir å belegge epitaksisk wafer-bæreren med TaC følgende fordeler:

Høytemperaturstabilitet: TaC-belegg viser utmerket høytemperaturstabilitet, slik at det opprettholder strukturen og ytelsen under epitaksiske prosesser ved høye temperaturer og gir overlegen temperaturtoleranse.

Kjemisk stabilitet: TaC-belegg er motstandsdyktig mot korrosjon fra vanlige kjemikalier og atmosfærer, beskytter bæreren mot kjemisk nedbrytning og forbedrer holdbarheten.

Hardhet og slitestyrke: TaC-belegg har høy hardhet og slitestyrke, styrker overflaten på epitaksisk wafer-bæreren, reduserer skade og slitasje og forlenger levetiden.

Termisk ledningsevne: TaC-belegg viser god varmeledningsevne, hjelper til med varmeavledning, opprettholder en stabil veksttemperatur for epitaksjiktet, og forbedrer prosessstabilitet og konsistens.

Derfor hjelper det å velge en epitaksisk wafer-bærer med et TaC-belegg takle utfordringene med LED-epitaksi, og oppfylle kravene til høye temperaturer og kjemiske miljøer. Dette belegget gir fordeler som høytemperaturstabilitet, kjemisk stabilitet, hardhet og slitestyrke, og termisk ledningsevne, noe som bidrar til forbedret ytelse, levetid og produksjonseffektivitet for epitaksisk wafer-bæreren.

Grunnleggende fysiske egenskaper ved TaC-belegg:

VeTek Semiconductor Production Shop

Oversikt over industrikjeden for halvlederbrikkeepitaxy: