VeTek semiconductor er en ledende produsent av tantalkarbidbeleggmaterialer for halvlederindustrien. Våre hovedprodukttilbud inkluderer CVD-tantalkarbidbeleggdeler, sintrede TaC-beleggsdeler for SiC-krystallvekst eller halvlederepitaksiprosess. Bestått ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontroll på kvalitet. VeTek Semiconductor er dedikert til å bli innovatør i tantalkarbidbeleggindustrien gjennom pågående forskning og utvikling av iterative teknologier.
Hovedproduktene erTantalkarbidbeleggsavlederring, TaC-belagt avledningsring, TaC-belagte halvmånedeler, Tantalkarbidbelagt planetrotasjonsskive (Aixtron G10), TaC-belagt smeltedigel; TaC-belagte ringer; TaC-belagt porøs grafitt; Tantalkarbidbelegg Grafittsusceptor; TaC-belagt guidering; TaC Tantalkarbidbelagt plate; TaC-belagt Wafer Susceptor; TaC belegg ring; TaC belegg grafittdeksel; TaC Coated Chunketc., renheten er under 5 ppm, kan møte kundens krav.
TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD). Fordelen er vist på bildet nedenfor:
Tantalkarbidbelegget (TaC) har fått oppmerksomhet på grunn av dets høye smeltepunkt på opptil 3880°C, utmerket mekanisk styrke, hardhet og motstand mot termiske støt, noe som gjør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiske prosesser med høyere temperaturkrav, slik som Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiprosess. Den har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystallvekstprosessen.
●Temperaturstabilitet
●Ultra høy renhet
●Motstand mot H2, NH3, SiH4,Si
●Motstand mot termisk lager
●Sterk vedheft til grafitt
●Konform beleggdekning
● Størrelse opp til 750 mm diameter (den eneste produsenten i Kina når denne størrelsen)
● Induktiv varmemottaker
● Resistivt varmeelement
● Varmeskjold
Fysiske egenskaper til TaC-belegg | |
Tetthet | 14,3 (g/cm³) |
Spesifikk emissivitet | 0.3 |
Termisk ekspansjonskoeffisient | 6,3 10-6/K |
Hardhet (HK) | 2000 HK |
Motstand | 1×10-5Ohm*cm |
Termisk stabilitet | <2500℃ |
Grafittstørrelsen endres | -10~-20um |
Beleggtykkelse | ≥20um typisk verdi (35um±10um) |
Element | Atomprosent | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Gjennomsnittlig | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent og leder av CVD TaC Coating Crucible-produkter i Kina. CVD TaC Coating Crucible er basert på tantalkarbon (TaC) belegg. Tantalkarbonbelegget er jevnt dekket på overflaten av digelen gjennom prosess for kjemisk dampavsetning (CVD) for å forbedre varmebestandigheten og korrosjonsbestandigheten. Det er et materialverktøy spesielt brukt i ekstreme miljøer med høy temperatur. Velkommen til din videre konsultasjon.
Les merSend forespørselSom en profesjonell CVD TaC Coating Wafer Carrier-produktprodusent og fabrikk i Kina, er VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier et waferbærende verktøy spesielt designet for høytemperatur og korrosive miljøer i halvlederproduksjon. og CVD TaC Coating Wafer Carrier har høy mekanisk styrke, utmerket korrosjonsmotstand og termisk stabilitet, og gir den nødvendige garantien for produksjon av høykvalitets halvlederenheter. Dine ytterligere henvendelser er velkomne.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en ledende produsent og innovatør av TaC Coating Heater i Kina. Dette produktet har et ekstremt høyt smeltepunkt (ca. 3880°C). Det høye smeltepunktet til TaC Coating Heater gjør det mulig å operere ved ekstremt høye temperaturer, spesielt i veksten av galliumnitrid (GaN) epitaksiale lag i prosessen med metallorganisk kjemisk dampavsetning (MOCVD). VeTek Semiconductor er forpliktet til å tilby avansert teknologi og produktløsninger for halvlederindustrien. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSom en profesjonell TaC Coated Chuck-produsent og leverandør i Kina, er VeTek Semiconductors TaC Coating Chuck spesielt designet for halvlederovner. Med sin høye temperaturbestandighet, kjemiske treghet og utmerkede ytelse, gir Vetek Semiconductors innovative teknologi en pålitelig løsning for halvlederproduksjonsindustrien for å sikre produksjonsstandarder av høy kvalitet. Vi tror at produktene våre kan gi deg avansert teknologi og høykvalitets produktløsninger.
Les merSend forespørselSom en profesjonell TaC Coating Tube produsent og leverandør i Kina, er VeTek Semiconductors TaC coating tube en nøkkelkomponent for vellykket vekst av silisiumkarbid enkeltkrystaller. Med sin høye temperaturbestandighet, kjemiske treghet og utmerkede ytelse, sikrer den produksjon av høykvalitetskrystaller med konsistente resultater. Stol på våre innovative løsninger for å forbedre PVT-metoden SiC-krystallvekstprosessen og oppnå utmerkede resultater. Velkommen til å spørre oss.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en ledende produsent, innovatør og leder av CVD TAC Coating i Kina. I mange år har vi fokusert på ulike CVD TAC Coating produkter som CVD TaC coating deksel, CVD TaC Coating Ring, CVD TaC Coating carrier, etc. VeTek Semiconductor støtter tilpassede produkttjenester og tilfredsstillende produktpriser, og ser frem til din videre konsultasjon.
Les merSend forespørsel