> Produkter > Tantalkarbidbelegg

Nye Produkter

Kina Tantalkarbidbelegg produsent, leverandør, fabrikk

VeTek semiconductor er en ledende produsent av tantalkarbidbeleggmaterialer for halvlederindustrien. Våre hovedprodukttilbud inkluderer CVD-tantalkarbidbeleggdeler, sintrede TaC-beleggsdeler for SiC-krystallvekst eller halvlederepitaksiprosess. Bestått ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontroll på kvalitet. VeTek Semiconductor er dedikert til å bli innovatør i tantalkarbidbeleggindustrien gjennom pågående forskning og utvikling av iterative teknologier.

Hovedproduktene erTaC-belagt styrering, CVD TaC-belagt styrering med tre kronblad, Tantalkarbid TaC-belagt halvmåne, CVD TaC-belegg planetarisk SiC epitaksial susceptor, Tantalkarbidbeleggring, Tantalkarbidbelagt porøs grafitt, TaC Coating Rotasjons Susceptor, Tantalkarbidring, TaC belegg rotasjonsplate, TaC-belagt wafer-susceptor, TaC-belagt deflektorring, CVD TaC beleggdeksel, TaC-belagt Chucketc., renheten er under 5 ppm, kan møte kundens krav.

TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD). Fordelen er vist på bildet nedenfor:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantalkarbidbelegget (TaC) har fått oppmerksomhet på grunn av dets høye smeltepunkt på opptil 3880°C, utmerket mekanisk styrke, hardhet og motstand mot termiske støt, noe som gjør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiske prosesser med høyere temperaturkrav, slik som Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiprosess. Den har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystallvekstprosessen.

Nøkkelfunksjoner:

●Temperaturstabilitet

●Ultra høy renhet

●Motstand mot H2, NH3, SiH4,Si

●Motstand mot termisk lager

●Sterk vedheft til grafitt

●Konform beleggdekning

● Størrelse opptil 750 mm diameter (den eneste produsenten i Kina når denne størrelsen)

Søknader:

●Waferbærer

● Induktiv varmemottaker

● Resistivt varmeelement

●Satellitt disk

●Dusjhode

●Føringsring

●LED Epi-mottaker

●Injeksjonsdyse

●Maskeringsring

● Varmeskjold

Tantalkarbid (TaC) belegg på et mikroskopisk tverrsnitt:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter for VeTek Semiconductor Tantalkarbidbelegg:

Fysiske egenskaper til TaC-belegg
Tetthet	14,3 (g/cm³)
Spesifikk emissivitet	0.3
Termisk ekspansjonskoeffisient	6,3 10^-6/K
Hardhet (HK)	2000 HK
Motstand	1×10^-5Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafittstørrelsen endres	-10~-20um
Beleggtykkelse	≥20um typisk verdi (35um±10um)

TaC-belegg EDX-data：

EDX data of TaC coating

TaC belegg krystallstruktur data:

Element	Atomprosent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Gjennomsnittlig
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk
TaC-belagt plate TaC belegg rotasjonsplate TaC belegg mottaker CVD TaC belegg Deksel CVD TaC beleggring TaC beleggplate

View as

TaC-belagt styrering

TaC Coated Guide Ring er laget av høykvalitets grafitt og TaC-belegg. Ved fremstilling av SiC-krystaller ved PVT-metoden brukes VeTek Semiconductors TaC-belagte guidering hovedsakelig til å lede og kontrollere luftstrømmen, optimalisere enkeltkrystallvekstprosessen og forbedre enkeltkrystallutbyttet. Med utmerket TaC-beleggteknologi har produktene våre utmerket høytemperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet og gode mekaniske egenskaper. Vi ønsker din konsultasjon hjertelig velkommen og ser frem til å gi deg mer detaljert produktinformasjon og teknisk støtte.

Les mer Send forespørsel

Tantalkarbidbelagt planetrotasjonsskive

VeTek Semiconductor er en ledende produsent og leverandør av Tantalkarbidbelagt Planetary Rotation Disk i Kina, med fokus på TaC-beleggsteknologi i mange år. Våre produkter har høy renhet og utmerket motstand mot høye temperaturer, som er anerkjent av halvlederprodusenter. VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk har blitt ryggraden i waferepitaksindustrien. Vi ser frem til å etablere et langsiktig partnerskap med deg for i fellesskap å fremme teknologisk fremgang og produksjonsoptimalisering.

Les mer Send forespørsel

TaC Coated Graphite Wafer Carrier

VeTek Semiconductor har nøye designet TaC Coated Graphite Wafer Carrier for kunder. Den er sammensatt av grafitt og TaC-belegg med høy renhet, som er egnet for ulike epitaksiale wafer-behandlinger. Vi har vært spesialisert på SiC og TaC-belegg i mange år. Sammenlignet med SiC-belegg har vår TaC-belagte grafittplatebærer høyere temperaturmotstand og slitestyrke. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les mer Send forespørsel

<...6 7 8 9 10 >

Som en profesjonell Tantalkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar Tantalkarbidbelegg laget i Kina, kan du legge igjen en melding.