> Produkter > Silisiumkarbidkeramikk > Oksidasjons- og diffusjonsovn

Nye Produkter

Kina Oksidasjons- og diffusjonsovn produsent, leverandør, fabrikk

Oksidasjons- og diffusjonsovner brukes i ulike felt som halvlederenheter, diskrete enheter, optoelektroniske enheter, kraftelektroniske enheter, solceller og storskala integrert kretsproduksjon. De brukes til prosesser inkludert diffusjon, oksidasjon, gløding, legering og sintring av wafere.

VeTek Semiconductor er en ledende produsent som spesialiserer seg på produksjon av høyrent grafitt-, silisiumkarbid- og kvartskomponenter i oksidasjons- og diffusjonsovner. Vi er forpliktet til å levere høykvalitets ovnskomponenter til halvleder- og solcelleindustrien, og er i forkant av overflatebeleggingsteknologi, som CVD-SiC, CVD-TaC, pyrokarbon, etc.

Fordelene med VeTek Semiconductor silisiumkarbidkomponenter:

Høy temperaturmotstand (opptil 1600 ℃)

Utmerket termisk ledningsevne og termisk stabilitet

God kjemisk korrosjonsbestandighet

Lav termisk utvidelseskoeffisient

Høy styrke og hardhet

Lang levetid

I oksidasjons- og diffusjonsovner, på grunn av tilstedeværelsen av høytemperatur og korrosive gasser, krever mange komponenter bruk av høytemperatur- og korrosjonsbestandige materialer, blant annet silisiumkarbid (SiC) er et vanlig valg. Følgende er vanlige silisiumkarbidkomponenter som finnes i oksidasjonsovner og diffusjonsovner:

Wafer båt

Silisiumkarbid wafer boat er en beholder som brukes til å bære silisium wafere, som tåler høye temperaturer og ikke reagerer med silisium wafere.

Ovnrør

Ovnsrøret er kjernekomponenten i diffusjonsovnen, brukt til å romme silisiumskiver og kontrollere reaksjonsmiljøet. Silisiumkarbidovnsrør har utmerket ytelse ved høy temperatur og korrosjonsbestandighet.

Baffelplate

Brukes til å regulere luftstrømmen og temperaturfordelingen inne i ovnen

Termoelement beskyttelsesrør

Brukes for å beskytte temperaturmålende termoelementer mot direkte kontakt med etsende gasser.

Cantilever padle

Utkragende skovler av silisiumkarbid er motstandsdyktige mot høy temperatur og korrosjon, og brukes til å transportere silisiumbåter eller kvartsbåter som bærer silisiumskiver inn i diffusjonsovnsrørene.

Gassinjektor

Brukt til å introdusere reaksjonsgass i ovnen, må den være motstandsdyktig mot høy temperatur og korrosjon.

Båtfører

Silisiumkarbid wafer båtholder brukes til å fikse og støtte silisium wafere, som har fordeler som høy styrke, korrosjonsbestandighet og god strukturell stabilitet.

Ovnsdør

Silisiumkarbidbelegg eller komponenter kan også brukes på innsiden av ovnsdøren.

Varmeelement

Silisiumkarbidvarmeelementer er egnet for høye temperaturer, høy effekt, og kan raskt heve temperaturen til over 1000 ℃.

SiC Liner

Brukt til å beskytte den indre veggen av ovnsrør, kan den bidra til å redusere tap av varmeenergi og motstå tøffe miljøer som høy temperatur og høyt trykk.

View as

SiC Cantilever Paddle

VeTek Semiconductors SiC Cantilever Paddle er et produkt med svært høy ytelse. Vår SiC Cantilever Paddle brukes vanligvis i varmebehandlingsovner for håndtering og støtte av silisiumskiver, kjemisk dampavsetning (CVD) og andre prosesseringsprosesser i halvlederproduksjonsprosesser. Den høye temperaturstabiliteten og den høye termiske ledningsevnen til SiC-materiale sikrer høy effektivitet og pålitelighet i halvlederprosesseringsprosessen. Vi er forpliktet til å tilby produkter av høy kvalitet til konkurransedyktige priser og ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les mer Send forespørsel

Silisiumkarbidskivebåt for horisontal ovn

VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent og leverandør i Kina for silisiumkarbid waferbåt for horisontal ovn, med mange års erfaring innen FoU og produksjon, kan kontrollere kvaliteten godt og tilby en konkurransedyktig pris. Du kan være trygg på å kjøpe silisiumkarbidwaferbåten for horisontal ovn hos oss.

Les mer Send forespørsel

SiC-belagt silisiumkarbidskivebåt

VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent og leverandør i Kina for SiC-belagt silisiumkarbid-waferbåt, med mange års erfaring innen FoU og produksjon, kan kontrollere kvaliteten godt og tilby en konkurransedyktig pris. Velkommen til å besøke fabrikken vår og ha videre diskusjon om samarbeid.

Les mer Send forespørsel

Silisiumkarbid utkragende padle

VeTek Semiconductors Silicon Carbide Cantilever Paddle er en viktig komponent i halvlederproduksjonsprosessen, spesielt egnet for diffusjonsovner eller LPCVD-ovner i høytemperaturprosesser som diffusjon og RTP. Vår Silisiumkarbid Cantilever Paddle er nøye designet og produsert med utmerket motstand mot høye temperaturer og mekanisk styrke, og kan trygt og pålitelig transportere wafere til prosessrøret under tøffe prosessforhold for ulike høytemperaturprosesser som diffusjon og RTP. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les mer Send forespørsel

High Pure Silisium Carbide Wafer Carrier

VeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier er viktige komponenter i halvlederbehandling, designet for å trygt holde og transportere delikate silisiumskiver, og spiller en nøkkelrolle i alle stadier av produksjonen. VeTek Semiconductors High Pure Silisium Carbide Wafer Carrier er nøye designet og produsert for å sikre utmerket ytelse og pålitelighet. VeTek Semiconductor er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, og vi ser frem til å være din langsiktige partner i Kina.

Les mer Send forespørsel

Silisiumkarbid waferbåt

VeTek Semiconductors høyrenhet Silisiumkarbid Wafer Boat er laget av ekstremt rent silisiumkarbidmateriale med utmerket termisk stabilitet, mekanisk styrke og kjemisk motstand. Silisiumkarbidskivebåt med høy renhet brukes i varmesoner i halvlederproduksjon, spesielt i høytemperaturmiljøer, og spiller en viktig rolle i å beskytte wafere, transportere materialer og opprettholde stabile prosesser. VeTek Semiconductor vil fortsette å jobbe hardt for å innovere og forbedre ytelsen til høyrent silisiumkarbidwaferbåt for å møte de utviklende behovene til halvlederproduksjon. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les mer Send forespørsel

<1 2 >

Som en profesjonell Oksidasjons- og diffusjonsovn produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avanserte og holdbare Oksidasjons- og diffusjonsovn laget i Kina, kan du legge igjen en melding.