Hva er TaC Coating?

TaC Coating (Tantalum Carbide Coating) er et høyytelses beleggmateriale produsert ved kjemisk dampavsetning (CVD) prosess. På grunn av de utmerkede egenskapene til TaC-belegg under ekstreme forhold, er det mye brukt i halvlederproduksjonsprosesser, spesielt i utstyr og komponenter som krever høy temperatur og sterkt korrosivt miljø. TaC Coating brukes vanligvis for å beskytte underlag (som grafitt eller keramikk) mot skade fra høy temperatur, korrosive gasser og mekanisk slitasje.

Produktegenskaper og fordeler

Ekstremt høy termisk stabilitet:

Funksjonsbeskrivelse: TaC-belegg har et smeltepunkt på mer enn 3880°C og kan opprettholde stabilitet uten dekomponering eller deformasjon i ekstremt høye temperaturer.

Fordel: Dette gjør det til et uunnværlig materiale i høytemperatur-halvlederutstyr som CVD TaC Coating og TaC Coated Susceptor, spesielt for applikasjoner i MOCVD-reaktorer, som Aixtron G5-utstyr.

Utmerket korrosjonsbestandighet:

Funksjonsbeskrivelse: TaC har ekstremt sterk kjemisk inerthet og kan effektivt motstå erosjon av korrosive gasser som klorider og fluorider.

Fordeler: I halvlederprosesser som involverer svært korrosive kjemikalier, beskytter TaC Coating utstyrskomponenter mot kjemisk angrep, forlenger levetiden og forbedrer prosessstabiliteten, spesielt ved påføring av silisiumkarbidskivebåt og andre nøkkelkomponenter.

Utmerket mekanisk hardhet:

Funksjonsbeskrivelse: Hardheten til TaC-belegget er så høy som 9-10 Mohs, noe som gjør den motstandsdyktig mot mekanisk slitasje og høy temperaturpåkjenning.

Fordel: Den høye hardhetsegenskapen gjør TaC Coating spesielt egnet for bruk i miljøer med høy slitasje og høy belastning, og sikrer langsiktig stabilitet og pålitelighet til utstyr under tøffe forhold.

Lav kjemisk reaktivitet:

Funksjonsbeskrivelse: På grunn av sin kjemiske treghet kan TaC Coating opprettholde lav reaktivitet i høytemperaturmiljøer og unngå unødvendige kjemiske reaksjoner med reaktive gasser.

Fordel: Dette er spesielt viktig i halvlederproduksjonsprosessen fordi det sikrer renheten til prosessmiljøet og høykvalitets avsetning av materialer.

Rollen til TaC Coating i halvlederbehandling

Beskyttelse av nøkkelutstyrskomponenter:

Funksjonsbeskrivelse: TaC-belegg er mye brukt i nøkkelkomponenter i halvlederproduksjonsutstyr, for eksempel TaC Coated Susceptor, som må fungere under ekstreme forhold. Ved å belegge med TaC kan disse komponentene fungere i lange perioder i høytemperatur og korrosive gassmiljøer uten å bli skadet.

Forleng utstyrets levetid:

Funksjonsbeskrivelse: I MOCVD-utstyr som Aixtron G5 kan TaC Coating forbedre holdbarheten til utstyrskomponenter betydelig og redusere behovet for vedlikehold og utskifting av utstyr på grunn av korrosjon og slitasje.

Forbedre prosessstabiliteten:

Funksjonsbeskrivelse: I halvlederproduksjon sikrer TaC Coating jevnheten og konsistensen av avsetningsprosessen ved å gi en stabil høy temperatur og kjemisk miljø. Dette er spesielt viktig i epitaksiale vekstprosesser som silisiumepitaksi og galliumnitrid (GaN).

Forbedre prosesseffektiviteten:

Funksjonsbeskrivelse: Ved å optimalisere belegget på overflaten av utstyret, kan TaC Coating forbedre den totale effektiviteten av prosessen, redusere defektraten og øke produktutbyttet. Dette er avgjørende for produksjon av høypresisjon, høy renhet halvledermaterialer.

Den høye termiske stabiliteten, den utmerkede korrosjonsbestandigheten, den mekaniske hardheten og den lave kjemiske reaktiviteten som TaC Coating viser under halvlederbehandling gjør det til et ideelt valg for å beskytte komponenter i halvlederproduksjonsutstyr. Ettersom halvlederindustriens etterspørsel etter høy temperatur, høy renhet og effektive produksjonsprosesser fortsetter å øke, har TaC Coating brede bruksmuligheter, spesielt i utstyr og prosesser som involverer CVD TaC Coating, TaC Coated Susceptor og Aixtron G5.

VeTek semiconductor Technology Co., LTD er en ledende leverandør av avanserte beleggmaterialer for halvlederindustrien. vårt selskap fokuserer på å utvikle banebrytende løsninger for industrien.

Våre hovedprodukttilbud inkluderer CVD silisiumkarbid (SiC) belegg, tantalkarbid (TaC) belegg, bulk SiC, SiC pulver og høyrente SiC materialer, SiC belagt grafitt susceptor, forvarmingsringer, TaC belagt avledningsring, halvmånedeler, etc. ., renheten er under 5 ppm, kan møte kundens krav.

VeTek halvleder fokuserer på å utvikle banebrytende teknologi og produktutviklingsløsninger for halvlederindustrien.Vi håper inderlig å bli din langsiktige partner i Kina.