Kina Silisiumkarbidbelegg produsent, leverandør, fabrikk

VeTek Semiconductor spesialiserer seg på produksjon av ultrarene silisiumkarbidbeleggprodukter, disse beleggene er designet for å påføres renset grafitt, keramikk og ildfaste metallkomponenter.

Våre belegg med høy renhet er primært rettet mot bruk i halvleder- og elektronikkindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mot korrosive og reaktive miljøer som oppstår i prosesser som MOCVD og EPI. Disse prosessene er integrert i wafer-prosessering og enhetsproduksjon. I tillegg er beleggene våre godt egnet for bruk i vakuumovner og prøveoppvarming, der miljøer med høyt vakuum, reaktive og oksygen forekommer.

Hos VeTek Semiconductor tilbyr vi en omfattende løsning med våre avanserte maskinverksteder. Dette gjør oss i stand til å produsere basiskomponentene ved hjelp av grafitt, keramikk eller ildfaste metaller og påføre SiC eller TaC keramiske belegg internt. Vi tilbyr også beleggtjenester for kundeleverte deler, noe som sikrer fleksibilitet for å møte ulike behov.

Våre silisiumkarbidbeleggprodukter er mye brukt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-prosess, etseprosess, ICP/PSS-etseprosess, prosess av forskjellige LED-typer, inkludert blå og grønn LED, UV LED og dyp-UV LED etc.,som er tilpasset utstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.

Reaktordeler vi kan gjøre:

Silisiumkarbidbelegg flere unike fordeler:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg
Eiendom	Typisk verdi
Krystallstruktur	FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert
SiC-belegg Tetthet	3,21 g/cm³
SiC-belegg Hardhet	2500 Vickers hardhet (500 g belastning)
Kornstørrelse	2~10μm
Kjemisk renhet	99,99995 %
Varmekapasitet	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Bøyestyrke	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt bøyning, 1300 ℃
Termisk ledningsevne	300 W·m^-1·K^-1
Termisk ekspansjon (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC FILM KRYSTALL STRUKTUR

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Silisiumkarbidbelagt Epi-susceptor SiC Coating Wafer Carrier SiC-belagt satellittdeksel for MOCVD CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC belegg Varmeelement Aixtron satellittwaferholder SiC Coating Epi mottaker SiC-belegg halvmåne grafittdeler

View as

Solid SiC gassdusjhode

Solid SiC gassdusjhode spiller en viktig rolle i å gjøre gassen ensartet i CVD-prosessen, og sikrer dermed jevn oppvarming av underlaget. VeTek Semiconductor har vært dypt involvert i feltet av solid SiC-enheter i mange år og er i stand til å gi kundene tilpassede Solid SiC gassdusjhoder. Uansett hvilke krav du har, ser vi frem til din henvendelse.

Les mer Send forespørsel

Kjemisk dampavsetningsprosess Solid SiC kantring

VeTek Semiconductor har alltid vært forpliktet til forskning og utvikling og produksjon av avanserte halvledermaterialer. I dag har VeTek Semiconductor gjort store fremskritt innen solide SiC kantringprodukter og er i stand til å gi kundene svært tilpassede solide SiC kantringer. Solide SiC-kantringer gir bedre etsingsuniformitet og presis waferposisjonering når de brukes med en elektrostatisk chuck, noe som sikrer konsistente og pålitelige etseresultater. Ser frem til din henvendelse og bli hverandres langsiktige partnere.

Les mer Send forespørsel

Solid SiC Etching Fokusering Ring

Solid SiC Etching Focusing Ring er en av kjernekomponentene i waferetsingsprosessen, som spiller en rolle i å fikse wafer, fokusere plasma og forbedre waferets ensartethet. Som den ledende SiC Focusing Ring-produsenten i Kina, har VeTek Semiconductor avansert teknologi og moden prosess, og produserer Solid SiC Etching Focusing Ring som fullt ut oppfyller behovene til sluttkunder i henhold til kundens krav. Vi ser frem til din henvendelse og til å bli hverandres langsiktige partnere.

Les mer Send forespørsel

<...14 15 16 17 18 >

Som en profesjonell Silisiumkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar Silisiumkarbidbelegg laget i Kina, kan du legge igjen en melding.