Kina Silisiumkarbidbelegg produsent, leverandør, fabrikk

VeTek Semiconductor spesialiserer seg på produksjon av ultrarene silisiumkarbidbeleggprodukter, disse beleggene er designet for å påføres renset grafitt, keramikk og ildfaste metallkomponenter.

Våre belegg med høy renhet er først og fremst rettet mot bruk i halvleder- og elektronikkindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mot korrosive og reaktive miljøer som oppstår i prosesser som MOCVD og EPI. Disse prosessene er integrert i wafer-prosessering og enhetsproduksjon. I tillegg er beleggene våre godt egnet for bruk i vakuumovner og prøveoppvarming, der miljøer med høyt vakuum, reaktive og oksygen forekommer.

Hos VeTek Semiconductor tilbyr vi en omfattende løsning med våre avanserte maskinverksteder. Dette gjør oss i stand til å produsere basiskomponentene ved hjelp av grafitt, keramikk eller ildfaste metaller og påføre SiC eller TaC keramiske belegg internt. Vi tilbyr også beleggtjenester for kundeleverte deler, noe som sikrer fleksibilitet for å møte ulike behov.

Våre silisiumkarbidbeleggprodukter er mye brukt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-prosess, etseprosess, ICP/PSS-etseprosess, prosess av forskjellige LED-typer, inkludert blå og grønn LED, UV LED og dyp-UV LED etc.,som er tilpasset utstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.

Reaktordeler vi kan gjøre:

Silisiumkarbidbelegg flere unike fordeler:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter:

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg
Eiendom	Typisk verdi
Krystallstruktur	FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert
Tetthet	3,21 g/cm³
Hardhet	2500 Vickers hardhet (500 g belastning)
Kornstørrelse	2~10μm
Kjemisk renhet	99,99995 %
Varmekapasitet	640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Bøyestyrke	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃
Termisk ledningsevne	300W·m-1·K-1
Termisk ekspansjon (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

SiC-belagt ICP-etsebærer

VeTek Semiconductors SiC Coated ICP Etching Carrier er designet for de mest krevende epitaksiutstyrsapplikasjonene. Laget av høykvalitets ultrarent grafittmateriale, vår SiC Coated ICP Etching Carrier har en svært flat overflate og utmerket korrosjonsbestandighet for å tåle de tøffe forholdene under håndtering. Den høye varmeledningsevnen til den SiC-belagte bæreren sikrer jevn varmefordeling for utmerkede etseresultater. VeTek Semiconductor ser frem til å bygge et langsiktig partnerskap med deg.

Les mer Send forespørsel

PSS Etching Carrier Plate for Semiconductor

VeTek Semiconductors PSS Etching Carrier Plate for Semiconductor er en høykvalitets, ultraren grafittbærer designet for waferhåndteringsprosesser. Våre bærere har utmerket ytelse og kan yte godt i tøffe miljøer, høye temperaturer og tøffe kjemiske rengjøringsforhold. Våre produkter er mye brukt i mange europeiske og amerikanske markeder, og vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les mer Send forespørsel

Susceptor for hurtig termisk gløding

VeTek Semiconductor er en ledende produsent og innovatør for Rapid Thermal Annealing Susceptor og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på SiC-beleggmateriale i mange år. Vi tilbyr Rapid Thermal Annealing Susceptor med høy kvalitet, høy temperaturbestandighet, supertynt. Vi ønsker deg velkommen til å besøke vår fabrikk i Kina.

Les mer Send forespørsel

Silisiumbasert GaN epitaksial susceptor

VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent og leverandør, dedikert til å tilby høykvalitets silisiumbasert GaN Epitaxial Susceptor. Susceptor-halvlederen brukes i VEECO K465i GaN MOCVD-system, høy renhet, høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, velkommen til å spørre og samarbeide med oss!

Les mer Send forespørsel

8 tommers halvmånedel for LPE-reaktor

VeTek Semiconductor er en ledende 8-tommers halvmånedel for LPE-reaktorprodusent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på SiC-beleggmateriale i mange år.Vi tilbyr en 8-tommers halvmånedel for LPE-reaktor designet spesielt for LPE SiC-epitaksireaktorer. Denne halvmånedelen er en allsidig og effektiv løsning for halvlederproduksjon med sin optimale størrelse, kompatibilitet og høye produktivitet. Vi ønsker deg velkommen til å besøke vår fabrikk i Kina.

Les mer Send forespørsel

SiC Coated Pancake Susceptor for LPE PE3061S 6'' Wafere

VeTek Semiconductor er en ledende SiC-belagt pannekake-susceptor for LPE PE3061S 6'' wafere-produsent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på SiC-beleggmateriale i mange år. Vi tilbyr en SiC-belagt pannekake-susceptor designet spesielt for LPE PE3061S 6-tommers wafere . Denne epitaksiale susceptoren har høy korrosjonsmotstand, god varmeledningsytelse, god uniformitet. Vi ønsker deg velkommen til å besøke vår fabrikk i Kina.

Les mer Send forespørsel

<...11 12 13 14 15 >

Som en profesjonell Silisiumkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar Silisiumkarbidbelegg laget i Kina, kan du legge igjen en melding.