TaC-belagt ring

Som en ledende produsent og leverandør av TaC-belagte ringprodukter i Kina, har VeTek Semiconductor fokusert på FoU og produksjon av forskjellige TaC-beleggprodukter. Som hovedkunder av TaC Coating-produkter, har europeiske og amerikanske produsenter gitt stor ros til våre belegningsprodukter. Velkommen til din videre konsultasjon.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

VeTeksemi TaC Coated Ring er en høyytelseskomponent skreddersydd for halvlederproduksjonsprosesser. Dets unikt utformede tantalkarbid-belegg (TaC) gir produktet utmerket motstand mot høye temperaturer, korrosjonsmotstand og mekanisk stabilitet, noe som forbedrer levetiden og påliteligheten til grafittkomponenter i halvlederutstyr betydelig.

Overlegen ytelse av tantalkarbidbelegg:

● Ultrahøy temperaturmotstand: TaC-belegg tåler lett ekstreme temperaturer på opptil 2200 °C og forblir stabile under termiske sjokkmiljøer som er vanlige i halvlederproduksjon.

● Utmerket kjemisk stabilitet: Belegget viser sterk motstand mot vanlige etsende gasser som hydrogen, ammoniakk, silan og silisium, og beskytter effektivt underlaget mot kjemisk angrep.

● Utmerkede mekaniske egenskaper: TaC-belegg har høy hardhet, høy slitestyrke og god termisk støtmotstand, og kan fungere stabilt i lang tid under tøffe arbeidsforhold.

● Utmerket vedheft: Belegget er tett festet til grafittunderlaget, og forhindrer effektivt at belegget flasser av og sikrer jevn ytelse gjennom hele produktets levetid.

● Høy renhet: TaC-belegget fremstilt av CVD har ekstremt høy renhet, noe som minimerer innføringen av urenheter og gir et rent prosessmiljø for halvlederproduksjon.

Fordeler med tantalkarbidbelagte ringer:

● Forlenget levetid for utstyret: TaC-belegg blokkerer effektivt kjemiske reaksjoner og diffusjon av urenheter, noe som forlenger levetiden til grafittkomponenter betydelig og reduserer vedlikeholdskostnadene.

● Forbedre produksjonseffektiviteten: Produktets høye temperaturbestandighet og korrosjonsbestandighet gjør det mulig å operere under mer krevende forhold, noe som forkorter produksjonssyklusen og øker produksjonskapasiteten.

● Forbedret produktkvalitet: Høyrent TaC-belegg bidrar til å redusere forurensning, og sikrer kvaliteten og konsistensen til halvlederprodukter.

VeTek Semiconductor har vært spesialisert på TaC-beleggprodukter som f.eksTaC Coating Chuck, TaC belegg rotasjonsplate, TaC Coating Contractor, TaC-belagt wafer-susceptori mange år. Våre TaC-belagte ringprodukter har funksjonene Forlenget utstyrslevetid, Forbedret produksjonseffektivitet og Forbedret produktkvalitet. Samtidig har VeTek Semiconductor lenge vært forpliktet til å tilby avansert teknologi og produktløsninger for halvlederindustrien. Vi håper inderlig å bli din langsiktige partner i Kina.

Tantalkarbidbelagte ringer butikker:

Tantalum Carbide Coated Rings shops