Silisiumepitaksi, EPI,Epitaksi, Epitaksial refererer til veksten av et lag av krystall med samme krystallretning og forskjellig krystalltykkelse på et enkelt krystallinsk silisiumsubstrat. Epitaksial vekstteknologi er nødvendig for produksjon av halvlederdiskrete komponenter og integrerte kretser, fordi urenhetene i halvledere inkluderer N-type og P-type. Gjennom en kombinasjon av forskjellige typer, utviser halvlederenheter en rekke funksjoner.
Silisiumepitaksi-vekstmetoden kan deles inn i gassfase-epitaksi, væskefase-epitaksi (LPE), fastfase-epitaksi, kjemisk dampavsetningsvekstmetode er mye brukt i verden for å møte gitterintegriteten.
Typisk silisium epitaksielt utstyr er representert av det italienske selskapet LPE, som har pannekake epitaksial hy pnotic tor, fat type hy pnotic tor, halvleder hy pnotic, wafer carrier og så videre. Det skjematiske diagrammet av et tønneformet epitaksielt hy pelector-reaksjonskammer er som følger. VeTek Semiconductor kan tilby tønneformet epitaksial hy pelector. Kvaliteten på SiC-belagt HY pelector er svært moden. Kvalitet tilsvarende SGL; Samtidig kan VeTek Semiconductor også gi silisium epitaksial reaksjonshulrom kvartsdyse, kvarts Baffle, klokkekrukke og andre komplette produkter.
Silisium epitaksial Suceptor Wafer Susceptor av fattype Halvledermottaker SiC-belagt Susceptor
Hvis den epitaksiale mottakeren Pannekaketaker SiC-belagt susceptor
VeTek Semiconductor har mange års erfaring med produksjon av høykvalitets SiC-belagt grafittdeflektor. Vi har eget laboratorium for materialforskning og utvikling, kan støtte dine tilpassede design med overlegen kvalitet. Vi ønsker deg velkommen til å besøke fabrikken vår for mer diskusjon.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en ledende SiC-belagt pannekake-susceptor for LPE PE3061S 6'' wafere-produsent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på SiC-beleggmateriale i mange år. Vi tilbyr en SiC-belagt pannekake-susceptor designet spesielt for LPE PE3061S 6-tommers wafere . Denne epitaksiale susceptoren har høy korrosjonsmotstand, god varmeledningsytelse, god uniformitet. Vi ønsker deg velkommen til å besøke vår fabrikk i Kina.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en ledende SiC-belagt støtte for LPE PE2061S-produsent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på SiC-beleggmateriale i mange år. Vi tilbyr en SiC-belagt støtte for LPE PE2061S designet spesielt for LPE silisiumepitaksireaktorer. Denne SiC-belagte støtten for LPE PE2061S er bunnen av fatsusceptoren. Den tåler 1600 grader Celsius høy temperatur, forlenger produktets levetid for grafittreservedeler. Velkommen til å sende oss en forespørsel.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en ledende SiC-belagt topplate for LPE PE2061S-produsent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på SiC-beleggmateriale i mange år.Vi tilbyr en SiC-belagt topplate for LPE PE2061S designet spesielt for LPE-silisiumepitaksireaktorer. Denne SiC-belagte toppplaten for LPE PE2061S er toppen sammen med tønnesusceptor. Denne CVD SiC-belagte platen har høy renhet, utmerket termisk stabilitet og jevnhet, noe som gjør den egnet for dyrking av epitaksiale lag av høy kvalitet. Vi ønsker deg velkommen til å besøke fabrikken vår i Kina.
Les merSend forespørsel