Kina Solid silisiumkarbid produsent, leverandør, fabrikk

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide er en viktig keramisk komponent i plasmaetsingsutstyr, solid silisiumkarbid (CVD silisiumkarbid) deler i etseutstyret inkludererfokusringer, gassdusjhode, brett, kantringer osv. På grunn av den lave reaktiviteten og ledningsevnen til fast silisiumkarbid (CVD silisiumkarbid) til klor- og fluorholdige etsegasser, er det et ideelt materiale for plasmaetseutstyr som fokuserer ringer og andre komponenter.

For eksempel er fokusringen en viktig del plassert utenfor waferen og i direkte kontakt med waferen, ved å påføre en spenning på ringen for å fokusere plasmaet som passerer gjennom ringen, og derved fokusere plasmaet på waferen for å forbedre jevnheten av behandling. Den tradisjonelle fokusringen er laget av silisium elkvarts, ledende silisium som et vanlig fokusringmateriale, er det nesten nær ledningsevnen til silisiumskiver, men mangelen er dårlig etsemotstand i fluorholdig plasma, etsemaskindeler materialer som ofte brukes i en periode, vil det være alvorlig korrosjonsfenomen, noe som alvorlig reduserer produksjonseffektiviteten.

Solid SiC Focus RingArbeidsprinsipp：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Sammenligning av Si-basert fokuseringsring og CVD SiC-fokusring:

Sammenligning av Si-basert fokusering og CVD SiC fokusring
Punkt	Og	CVD SiC
Tetthet (g/cm³)	2.33	3.21
Båndgap (eV)	1.12	2.3
Termisk ledningsevne (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Elastisk modul (GPa)	150	440
Hardhet (GPa)	11.4	24.5
Motstand mot slitasje og korrosjon	Fattig	Glimrende

VeTek Semiconductor tilbyr avanserte solid silisiumkarbid (CVD silisiumkarbid) deler som SiC fokuseringsringer for halvlederutstyr. Våre solide silisiumkarbidfokuseringsringer utkonkurrerer tradisjonell silisium når det gjelder mekanisk styrke, kjemisk motstand, termisk ledningsevne, holdbarhet ved høye temperaturer og motstand mot ioneetsing.

Nøkkelfunksjonene til våre SiC-fokusringer inkluderer:

Høy tetthet for reduserte etsehastigheter.

Utmerket isolasjon med høyt båndgap.

Høy varmeledningsevne og lav varmeutvidelseskoeffisient.

Superior mechanical impact resistance and elasticity.

Høy hardhet, slitestyrke og korrosjonsbestandighet.

Produsert vhaplasmaforsterket kjemisk dampavsetning (PECVD)teknikker, møter våre SiC-fokusringer de økende kravene til etseprosesser i halvlederproduksjon. De er designet for å tåle høyere plasmakraft og energi, spesielt ikapasitivt koblet plasma (CCP)systemer.

VeTek Semiconductors SiC-fokusringer gir eksepsjonell ytelse og pålitelighet ved produksjon av halvlederenheter. Velg våre SiC-komponenter for overlegen kvalitet og effektivitet.

View as

SiC Coated Barrel Susceptor for LPE PE2061S

VeTek Semiconductor er en ledende SiC-belagt tønnesusceptor for LPE PE2061S-produsent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på SiC-beleggmateriale i mange år.Vi tilbyr en SiC-belagt tønnesusceptor designet spesielt for LPE PE2061S 4'' wafere. Denne susceptoren har et slitesterkt silisiumkarbidbelegg som forbedrer ytelsen og holdbarheten under LPE-prosessen (Liquid Phase Epitaxy). Vi ønsker deg velkommen til å besøke vår fabrikk i Kina.

Les mer Send forespørsel

Solid SiC gassdusjhode

VeTek Semiconductor er en ledende produsent og innovatør av solid SiC gassdusjhoder i Kina. Vi har vært spesialisert på halvledermateriale i mange år. VeTek Semiconductor Solid SiC gassdusjhodes design med flere porøsitet sikrer at varmen som genereres i CVD-prosessen kan spres. , som sikrer at underlaget varmes jevnt opp. Vi ser frem til å sette opp langsiktig med deg i Kina.

Les mer Send forespørsel

Kjemisk dampavsetningsprosess Solid SiC kantring

VeTek Semiconductor er en ledende produsent og innovatør av solid SiC-kantring i kjemisk dampavsetningsprosess i Kina. Vi har vært spesialisert på halvledermateriale i mange år. VeTek Semiconductor solid SiC-kantring gir forbedret etsningsuniformitet og presis waferposisjonering når den brukes med en elektrostatisk chuck , som sikrer konsistente og pålitelige etseresultater. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les mer Send forespørsel

Solid SiC Etching Fokusering Ring

VeTek Semiconductor er en ledende Solid SiC Etching Focusing Ring-produsent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på SiC-materiale i mange år. Solid SiC er valgt som et fokuseringsmateriale på grunn av sin utmerkede termokjemiske stabilitet, høye mekaniske styrke og motstand mot plasma erosjon. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les mer Send forespørsel

<1 2 >

Som en profesjonell Solid silisiumkarbid produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avanserte og holdbare Solid silisiumkarbid laget i Kina, kan du legge igjen en melding.