> Produkter > Silisiumkarbidbelegg > Silisiumkarbidepitaxi

Nye Produkter

Kina Silisiumkarbidepitaxi produsent, leverandør, fabrikk

Utarbeidelsen av høykvalitets silisiumkarbidepitaksi avhenger av avansert teknologi og utstyr og utstyrstilbehør. For tiden er den mest brukte silisiumkarbidepitakse-vekstmetoden kjemisk dampavsetning (CVD). Den har fordelene med presis kontroll av epitaksial filmtykkelse og dopingkonsentrasjon, færre defekter, moderat veksthastighet, automatisk prosesskontroll, etc., og er en pålitelig teknologi som har vært vellykket brukt kommersielt.

Silisiumkarbid-CVD-epitaksi bruker generelt varmvegg- eller varmvegg-CVD-utstyr, som sikrer fortsettelsen av epitaksylag 4H krystallinsk SiC under høye veksttemperaturforhold (1500 ~ 1700 ℃), varmvegg eller varmvegg-CVD etter år med utvikling, ifølge forholdet mellom innløpsluftstrømretningen og substratoverflaten, Reaksjonskammeret kan deles inn i horisontal strukturreaktor og vertikal strukturreaktor.

Det er tre hovedindikatorer for kvaliteten på SIC epitaksial ovn, den første er epitaksial vekst ytelse, inkludert tykkelse uniformitet, doping uniformitet, defekt rate og vekstrate; Den andre er temperaturytelsen til selve utstyret, inkludert oppvarmings-/kjølehastighet, maksimal temperatur, temperaturensartethet; Til slutt, kostnadsytelsen til selve utstyret, inkludert prisen og kapasiteten til en enkelt enhet.

Tre typer silisiumkarbid epitaksial vekst ovn og kjerne tilbehør forskjeller

Varmvegg horisontal CVD (typisk modell PE1O6 fra LPE-selskapet), varmvegg planetarisk CVD (typisk modell Aixtron G5WWC/G10) og quasi-hot wall CVD (representert av EPIREVOS6 fra Nuflare-selskapet) er de generelle tekniske løsningene for epitaksialutstyr som har blitt realisert i kommersielle applikasjoner på dette stadiet. De tre tekniske enhetene har også sine egne egenskaper og kan velges etter behov. Strukturen deres er vist som følger:

De tilsvarende kjernekomponentene er som følger:

(a) Varmvegg horisontal type kjernedel- Halfmoon Parts består av

Nedstrøms isolasjon

Hovedisolasjon øvre

Øvre halvmåne

Oppstrøms isolasjon

Overgangsstykke 2

Overgangsstykke 1

Utvendig luftdyse

Konisk snorkel

Ytre argongassmunnstykke

Argongass munnstykke

Wafer støtteplate

Sentreringsstift

Sentralvakt

Nedstrøms venstre beskyttelsesdeksel

Nedstrøms høyre beskyttelsesdeksel

Oppstrøms venstre beskyttelsesdeksel

Oppstrøms høyre beskyttelsesdeksel

Sidevegg

Grafittring

Beskyttende filt

Støttende filt

Kontaktblokk

Gassutløpssylinder

(b) Planetarisk type varmvegg

SiC-belegg Planetary Disk & TaC-belagt Planetary Disk

Nuflare (Japan): Dette selskapet tilbyr vertikale tokammerovner som bidrar til økt produksjonsutbytte. Utstyret har høyhastighetsrotasjon på opptil 1000 omdreininger per minutt, noe som er svært fordelaktig for epitaksial jevnhet. I tillegg skiller luftstrømretningen seg fra annet utstyr, og er vertikalt nedover, og minimerer dermed genereringen av partikler og reduserer sannsynligheten for at partikkeldråper faller ned på skivene. Vi leverer kjerne SiC-belagt grafittkomponenter til dette utstyret.

Som en leverandør av SiC epitaksial utstyrskomponenter, er VeTek Semiconductor forpliktet til å gi kundene høykvalitets beleggskomponenter for å støtte vellykket implementering av SiC epitaksi.

View as

CVD SiC beleggdyse

Vetek Semiconductors CVD SiC-beleggsdyser er avgjørende komponenter som brukes i LPE SiC-epitaksiprosessen for avsetning av silisiumkarbidmaterialer under halvlederproduksjon. Disse dysene er vanligvis laget av høytemperatur og kjemisk stabilt silisiumkarbidmateriale for å sikre stabilitet i tøffe prosessmiljøer. Designet for jevn avsetning, spiller de en nøkkelrolle i å kontrollere kvaliteten og jevnheten til epitaksiale lag som dyrkes i halvlederapplikasjoner. Ser frem til å etablere et langsiktig samarbeid med deg.

Les mer Send forespørsel

CVD SiC Coating Protector

Vetek Semiconductor gir CVD SiC Coating Protector som brukes er LPE SiC-epitaksi, Begrepet "LPE" refererer vanligvis til lavtrykksepitaksi (LPE) i lavtrykkskjemisk dampavsetning (LPCVD). I halvlederproduksjon er LPE en viktig prosessteknologi for å dyrke tynne enkeltkrystallfilmer, ofte brukt til å dyrke epitaksiale silisiumlag eller andre epitaksiale halvlederlag. Ikke nøl med å kontakte oss for flere spørsmål.

Les mer Send forespørsel

SiC-belagt pidestall

Vetek Semiconductor er profesjonell innen fremstilling av CVD SiC-belegg, TaC-belegg på grafitt og silisiumkarbidmateriale. Vi tilbyr OEM- og ODM-produkter som SiC-belagt pidestall, wafer-bærer, wafer-chuck, wafer-bærerbrett, planetarisk disk og så videre. Med 1000 klasse renrom og renseenhet kan vi gi deg produkter med urenheter under 5 ppm. Ser frem til å høre fra deg snart.

Les mer Send forespørsel

SiC Coating Innløpsring

Vetek Semiconductor utmerker seg i å samarbeide tett med kunder for å lage skreddersydde design for SiC Coating-innløpsring skreddersydd til spesifikke behov. Disse SiC Coating-innløpsringen er omhyggelig konstruert for ulike bruksområder som CVD SiC-utstyr og silisiumkarbidepitaxi. For skreddersydde SiC Coating Inlet Ring-løsninger, ikke nøl med å ta kontakt med Vetek Semiconductor for personlig assistanse.

Les mer Send forespørsel

Forvarmering

VeTek Semiconductor er en innovatør av SiC-beleggprodusenten i Kina. Pre-Heat Ring levert av VeTek Semiconductor er designet for epitaksi-prosessen. Det ensartede silisiumkarbidbelegget og avansert grafittmateriale som råmateriale sikrer konsistent avsetning og forbedrer kvaliteten og jevnheten til det epitaksiale laget. Vi ser frem til å etablere et langsiktig samarbeid med deg.

Les mer Send forespørsel

Wafer Lift Pin

VeTek Semiconductor er en ledende EPI Wafer Lift Pin-produsent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på SiC-belegg på overflaten av grafitt i mange år. Vi tilbyr en EPI Wafer Lift Pin for Epi-prosessen. Med høy kvalitet og konkurransedyktig pris ønsker vi deg velkommen til å besøke vår fabrikk i Kina.

Les mer Send forespørsel

<1 2 3 >

Som en profesjonell Silisiumkarbidepitaxi produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avanserte og holdbare Silisiumkarbidepitaxi laget i Kina, kan du legge igjen en melding.