VeTek Semiconductors produkt, tantalkarbid (TaC) beleggprodukter for SiC Single Crystal Growth Process, adresserer utfordringene knyttet til vekstgrensesnittet til silisiumkarbid (SiC) krystaller, spesielt de omfattende defektene som oppstår ved krystallkanten. Ved å påføre TaC-belegg tar vi sikte på å forbedre krystallvekstkvaliteten og øke det effektive området av krystallens senter, noe som er avgjørende for å oppnå rask og tykk vekst.
TaC-belegg er en kjerneteknologisk løsning for dyrking av høykvalitets SiC-enkrystallvekstprosess. Vi har med suksess utviklet en TaC-beleggsteknologi ved bruk av kjemisk dampavsetning (CVD), som har nådd et internasjonalt avansert nivå. TaC har eksepsjonelle egenskaper, inkludert et høyt smeltepunkt på opptil 3880°C, utmerket mekanisk styrke, hardhet og motstand mot termisk støt. Den viser også god kjemisk treghet og termisk stabilitet når den utsettes for høye temperaturer og stoffer som ammoniakk, hydrogen og silisiumholdig damp.
VeTek Semiconductors tantalkarbid (TaC) belegg tilbyr en løsning for å løse de kantrelaterte problemene i SiC Single Crystal Growth Process, og forbedrer kvaliteten og effektiviteten til vekstprosessen. Med vår avanserte TaC-beleggteknologi tar vi sikte på å støtte utviklingen av tredjegenerasjons halvlederindustri og redusere avhengigheten av importerte nøkkelmaterialer.
TaC-belagt smeltedigel, frøholder med TaC-belegg, TaC-belegg guidering er viktige deler i SiC og AIN enkrystallovn ved PVT-metoden.
- Høy temperaturmotstand
-Høy renhet, vil ikke forurense SiC-råmaterialer og SiC-enkeltkrystaller.
- Motstandsdyktig mot Al-damp og N₂-korrosjon
-Høy eutektisk temperatur (med AlN) for å forkorte krystallklargjøringssyklusen.
- Resirkulerbar (opptil 200 timer), det forbedrer bærekraften og effektiviteten til fremstillingen av slike enkeltkrystaller.
Fysiske egenskaper til TaC-belegg | |
Tetthet | 14,3 (g/cm³) |
Spesifikk emissivitet | 0.3 |
Termisk ekspansjonskoeffisient | 6,3 10-6/K |
Hardhet (HK) | 2000 HK |
Motstand | 1×10-5 Ohm*cm |
Termisk stabilitet | <2500℃ |
Grafittstørrelsen endres | -10~-20um |
Beleggtykkelse | ≥20um typisk verdi (35um±10um) |
VeTek Semiconductor er en ledende TaC Coated Graphite Wafer Carrier-produsent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på SiC- og TaC-belegg i mange år. Vår TaC-belagte grafittwafer-bærer har høyere temperaturbestandighet og slitestyrke. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørsel