SiC-belegg Monokrystallinsk silisiumepitaksialskuff er et viktig tilbehør for monokrystallinsk silisiumepitaksial vekstovn, og sikrer minimal forurensning og stabilt epitaksielt vekstmiljø. VeTek Semiconductors SiC-belegg Monokrystallinsk silisium epitaksialbrett har en ultralang levetid og gir en rekke tilpasningsmuligheter. VeTek Semiconductor ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
VeTek semiconductors SiC-belegg Monokrystallinsk silisiumepitaksialbrett er spesielt designet for monokrystallinsk silisiumepitaksialvekst og spiller en viktig rolle i industriell anvendelse av monokrystallinsk silisiumepitaksi og relaterte halvlederenheter.SiC-beleggforbedrer ikke bare temperaturmotstanden og korrosjonsmotstanden til brettet betydelig, men sikrer også langsiktig stabilitet og utmerket ytelse i ekstreme miljøer.
● Høy varmeledningsevne: SiC-belegg forbedrer den termiske styringsevnen til brettet betydelig og kan effektivt spre varmen som genereres av enheter med høy effekt.
● Korrosjonsbestandighet: SiC-belegg fungerer godt i høye temperaturer og korrosive miljøer, og sikrer langsiktig levetid og pålitelighet.
● Enhet i overflaten: Gir en flat og glatt overflate, som effektivt unngår produksjonsfeil forårsaket av overflateujevnheter og sikrer stabiliteten til epitaksial vekst.
I følge forskning, når porestørrelsen til grafittsubstratet er mellom 100 og 500 nm, kan et SiC-gradientbelegg fremstilles på grafittsubstratet, og SiC-belegget har en sterkere antioksidasjonsevne. oksidasjonsmotstanden til SiC-belegget på denne grafitten (trekantkurven) er mye sterkere enn andre spesifikasjoner for grafitt, egnet for vekst av enkrystall silisiumepitaksi. VeTek Semiconductors SiC-belegg Monokrystallinsk silisiumepitaksialskuff bruker SGL-grafitt somgrafittsubstrat, som er i stand til å oppnå slik ytelse.
VeTek Semiconductors SiC-belegg Monokrystallinsk silisiumepitaksialbrett bruker de beste materialene og den mest avanserte prosesseringsteknologien. Det viktigste er at uansett hvilke produkttilpasningsbehov kundene har, kan vi gjøre vårt beste for å møte dem.
Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg
Eiendom
Typisk verdi
Krystallstruktur
FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert
Tetthet
3,21 g/cm³
Hardhet
2500 Vickers hardhet (500 g belastning)
Korn Size
2~10μm
Kjemisk renhet
99,99995 %
Varmekapasitet
640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur
2700 ℃
Bøyestyrke
415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul
430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃
Termisk ledningsevne
300 W·m-1·K-1
Termisk ekspansjon (CTE)
4,5×10-6K-1