Halvleder kvarts båt

I halvlederprosessen er transport av wafere spesielt viktig. Halvlederkvartsbåter er veldig gode til å transportere wafere og egner seg for prosesser som diffusjon, oksidasjon og CVD. VeTek Semiconductor er en ledende produsent og leverandør av halvlederkvartsbåter i Kina, og er i stand til å gi kunder svært tilpassede produkter. Velkommen til din videre konsultasjon.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Halvlederkvartsbåt er et høyrent kvartsprodukt som brukes i halvlederproduksjonsprosessen. Hovedfunksjonen er å bære og overføre wafere i høytemperaturovner. Det er mye brukt i presisjonsindustrier som halvledere, optoelektronikk og lysdioder. Egnet for diffusjon, oksidasjon, CVD og andre prosesser.

Semiconductor quartz boat working diagram

Produktfunksjoner:

• Høy renhet: Halvlederkvartsbåt bruker høyrent kvartsmateriale med ekstremt lavt urenhetsinnhold, som effektivt unngår metallionforurensning, og er egnet for de rene miljøkravene til halvlederprosesser.

• Høy temperaturmotstand: Den har utmerket motstand mot høye temperaturer og kan brukes stabilt i lang tid i et miljø opp til 1200 ℃.

• Korrosjonsbestandighet: Den har god korrosjonsbestandighet mot de fleste kjemiske reagenser som syrer og alkalier, slik at den kan tilpasse seg det kjemiske miljøet i halvlederutstyr som CVD-ovner.

•God termisk stabilitet: Lav termisk ekspansjonskoeffisient, ikke lett å deformere ved oppvarming, egnet for hyppige oppvarmings- og kjøleprosesser.

Parametere	Spesifikasjoner
Materiale	Kvarts med høy renhet
Ytre diameter	Tilpasset etter behov
Lengde	Tilpasset etter behov
Termisk stabilitet	Stabil drift ved 1200°C

Spesifikasjoner

• Forbedre produksjonseffektiviteten: kompakt design, enkel waferoverføring og forbedret prosesskapasitet.

• Reduser forurensningsrisiko: høyrent kvartsmateriale, reduserer sporforurensning i prosessen.

• Lang levetid og holdbarhet: høy temperatur og korrosjonsbestandighet, egnet for høyfrekvent bruk, reduserer erstatningskostnadene.

Vetek Semiconductor er forpliktet til å gi kundene høykvalitets, høyrente kvartsbåtprodukter. Alle produkter er strengt kvalitetskontrollert for å sikre at de oppfyller de høye standardene til halvlederindustrien.