ALD Fused Quartz Pidestall

VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz Pidestal spiller en nøkkelrolle i halvlederproduksjonsprosessen som en støttestruktur forkvartsbåt, som brukes til å holdeoblat. Fused Quartz Pedestal bidrar til å oppnå jevn filmavsetning ved å opprettholde en stabil temperatur, noe som direkte påvirker ytelsen og påliteligheten til halvlederenheter. I tillegg sikrer Quartz Pedestal jevn fordeling av varme og lys i prosesskammeret, og forbedrer derved den generelle kvaliteten på avsetningsprosessen.

Fordeler med ALD Fused Quartz Sokkelmateriale

Høy temperatur motstand: Mykgjøringspunktet til smeltet kvarts sokkel er så høyt som ca. 1730°C, og det tåler høytemperaturdrift på 1100°C til 1250°C i lang tid, og kan utsettes for ekstreme temperaturmiljøer opp til 1450°C for en kort stund.

Utmerket korrosjonsbestandighet: Sammensmeltet kvarts er svært kjemisk inert mot nesten alle syrer unntatt flussyre. Syrebestandigheten er 30 ganger høyere enn keramikk og 150 ganger høyere enn rustfritt stål. Sammensmeltet kvarts er kjemisk uovertruffen ved høye temperaturer, noe som gjør det til et ideelt materiale for komplekse kjemiske prosesser.

Termisk stabilitet: Et nøkkeltrekk ved Fused Quartz Pedestal-materialet er den ekstremt lave termiske ekspansjonskoeffisienten. Dette betyr at den enkelt kan håndtere dramatiske temperatursvingninger uten å sprekke. For eksempel kan smeltet silikakvarts raskt varmes opp til 1100 °C og senkes direkte i kaldt vann uten skade, en viktig funksjon i produksjonsforhold med høy stress.

Streng produksjonsprosess: Produksjonsprosessen av fused silica pidestalls overholder strengt høye kvalitetsstandarder. Produksjonsprosessen bruker varmformings- og sveiseprosesser, som vanligvis fullføres i et renrommiljø i klasse 10.000. Etterpå blir den smeltede kvartsglasssokkelen grundig rengjort med ultrarent vann (18 MΩ) for å sikre produktets renhet og optimal ytelse. Hvert ferdig produkt blir grundig inspisert, rengjort og pakket i et renrom i klasse 1000 eller høyere for å møte de høye standardene til halvlederindustrien.

Høyrent ugjennomsiktig silikakvartsmateriale

VeTeksemi ALD Fused Quartz Pedestal bruker ugjennomsiktig kvartsmateriale med høy renhet for å effektivt isolere varme og lys. Dens utmerkede varmeskjermings- og lysskjermingsegenskaper gjør det mulig for den å opprettholde jevn temperaturfordeling i prosesskammeret, noe som sikrer jevnhet og konsistens av tynne.filmavsetningpå waferoverflaten.

Søknadsfelt

Fusede kvartssokler er mye brukt i mange felt av halvlederindustrien på grunn av deres utmerkede ytelse. Iatomic layer deposition (ALD) prosess, støtter den presis kontroll av filmvekst og sikrer fremgang av halvlederenheter. Ilavtrykks kjemisk dampavsetning (LPCVD) prosess, den termiske stabiliteten og lysskjermingsevnen til høyrent kvartssokkel gir garantier for jevn avsetning av tynne filmer, og forbedrer derved enhetens ytelse og utbytte.

I tillegg, i diffusjonswaferprosessen, sikrer høytemperaturmotstanden og den kjemiske korrosjonsmotstanden til Fused Quartz Pedestal påliteligheten og konsistensen til halvledermaterialets dopingprosess. Disse nøkkelprosessene bestemmer den elektriske ytelsen til halvlederenheter, og høykvalitets Fused Quartz-materialer spiller en uunnværlig rolle for å oppnå de beste resultatene av disse prosessene.

VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz Pidestal-butikker: