EPI-mottaker

VeTek Semiconductors EPI-susceptor er designet for krevende epitaksialutstyrsapplikasjoner. Dens høyrent silisiumkarbid (SiC) belagt grafittstruktur gir utmerket varmebestandighet, jevn termisk jevnhet for konsistent epitaksial lagtykkelse og motstand, og langvarig kjemisk motstand. Vi ser frem til å samarbeide med deg.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

VeTek Semiconductor er en profesjonell ledende Kina EPI-mottaker, ALD Planetary Receiver og TaC Coated Graphite Receiver-produsent. og vår EPI-susceptor er en viktig komponent iepitaksial vekstI halvlederproduksjonsprosessen. Dens hovedfunksjon er å støtte og varme opp waferen slik at et epitaksielt lag av høy kvalitet kan dyrkes jevnt på waferoverflaten.

VeTek Semiconductors EPI-susceptorer er vanligvis laget av høyrent grafitt og belagt med et lag av silisiumkarbid (SiC).Denne utformingen har følgende hovedfordeler:

● Høy temperaturstabilitet: EPI-susceptoren kan forbli stabil i et miljø med høy temperatur, noe som sikrer jevn vekst av epitaksiallaget.

● Korrosjonsbestandighet: SiC-belegget har utmerket korrosjonsbestandighet og kan motstå erosjon av kjemiske gasser, noe som forlenger brettets levetid.

● Termisk ledningsevne: Den høye termiske ledningsevnen til SiC-materiale sikrer jevn temperaturfordeling av waferen under oppvarming, og forbedrer dermed kvaliteten på det epitaksiale laget.

● Tilpasning av termisk ekspansjonskoeffisient: Den termiske ekspansjonskoeffisienten til SiC er lik den for grafitt, og unngår problemet med beleggavgivelse på grunn av termisk ekspansjon og sammentrekning.