EPI-mottaker

VeTek Semiconductor er en profesjonell leder i Kina EPI-mottaker, ALD Planetary Receiver, TaC Coated Graphite Receiver-produsent.

VeTek Semiconductors EPI-susceptor er en viktig komponent i epitaksial vekst i halvlederproduksjonsprosessen. Dens hovedfunksjon er å støtte og varme opp waferen slik at et epitaksielt lag av høy kvalitet kan dyrkes jevnt på waferoverflaten.

VeTek Semiconductors EPI-susceptorer er vanligvis laget av høyrent grafitt og belagt med et lag av silisiumkarbid (SiC). Denne designen har følgende hovedfordeler:

Høy temperatur stabilitet: EPI-susceptoren kan forbli stabil i et miljø med høy temperatur, noe som sikrer jevn vekst av epitaksiallaget.

Korrosjonsbestandighet: SiC-belegget har utmerket korrosjonsbestandighet og kan motstå erosjon av kjemiske gasser, noe som forlenger brettets levetid.

Termisk ledningsevne: Den høye termiske ledningsevnen til SiC-materiale sikrer jevn temperaturfordeling av waferen under oppvarming, og forbedrer dermed kvaliteten på det epitaksiale laget.

Tilpasning av termisk ekspansjonskoeffisient: Den termiske ekspansjonskoeffisienten til SiC er lik den for grafitt, og unngår problemet med beleggavgivelse på grunn av termisk ekspansjon og sammentrekning.

Grunnleggende fysiske egenskaper vedEPI-mottaker:

CVD SiC Coating Produksjonsbutikk:

Oversikt over industrikjeden for halvlederbrikkeepitaxy: