Disc-mottaker

Vetek Semiconductor gir kantskjærende Graphite Disc Susceptor. SiC-belegget gir overlegen termisk stabilitet, utmerket kjemisk motstand og forbedret prosessuniformitet, noe som sikrer optimal ytelse og pålitelighet. Opplev det neste nivået av effektivitet og presisjon med Vetek Semiconductors SiC-belagte Disc Susceptor.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Vetek Semiconductor's Graphite Disc Susceptor, et høyytelsesprodukt for avanserte halvlederproduksjonsprosesser. Vår grafittskivemottaker er designet for å møte de krevende kravene til industrien og gi eksepsjonell ytelse og pålitelighet.

Denne Graphite Disc Susceptor er OEM for AIX G5 planetarisk reaktorplattform.

GaN-on-Si MOCVD brukes til LED-epitaksial produksjon, og Aixtron G5-reaktoren forbedrer utbyttet og jevnheten til MOCVD-plattformen. Et fullt rotert symmetrisk ensartet mønster på fem 200 mm wafere, ved bruk av et silisiumsubstrat med standard tykkelse og kontrollerende waferbøyningsadferd formaliserte det de trengte for silisiumproduksjon.

Vetek Semiconductor's High-Purity Graphite Disc Susceptor for GaN-on-Si MOCVD, en pålitelig og kostnadseffektiv løsning for avanserte halvlederproduksjonsprosesser.

Vår høyrente grafittdisksusceptor er spesielt designet for å møte kravene til GaN-on-Si MOCVD-prosesser. Med sin eksepsjonelle termiske stabilitet og varmebestandighet, tåler den krevende temperaturforhold som typisk varierer fra 800 °C til 1100 °C, noe som sikrer optimal ytelse under avsetningsprosessen.

Det høyrente grafittmaterialet som brukes i vår platesusceptor gir utmerket kjemisk motstand, noe som gjør det kompatibelt med ammoniakk (NH3) og organiske metallforløpere som vanligvis brukes i GaN-on-Si MOCVD. Dette eliminerer behovet for ytterligere SiC-belegg, og reduserer produksjonskostnadene uten at det går på bekostning av ytelsen.

Vetek Semiconductors høyrente grafittskivemottaker tilbyr en kostnadseffektiv løsning uten å gå på kompromiss med kvaliteten. Dens pålitelighet, holdbarhet og kompatibilitet med GaN-on-Si MOCVD-prosesser gjør den til det foretrukne valget for halvlederprodusenter. Stol på Vetek Semiconductor for å levere høyytelses grafittdisksusceptorer for dine GaN-on-Si MOCVD-produksjonsbehov.