Wafer Handling End Effector

Wafer Handling End Effector er en type robothånd designet spesielt for halvlederindustrien, vanligvis brukt til å håndtere og overføreoblater. Produksjonsmiljøet til wafere krever ekstremt høy renslighet, fordi små partikler eller forurensninger kan føre til at flis svikter under bearbeiding. Keramiske materialer er mye brukt i produksjonen av disse hendene på grunn av deres utmerkede fysiske og kjemiske egenskaper.

Sammenlignet med tradisjonelle metallmaterialer er fordelene vedkeramikki materialer gjenspeiles hovedsakelig i følgende aspekter:

    •Korrosjonsbestandighet: Wafere blir utsatt for en rekke kjemikalier under produksjonsprosessen, og keramiske materialer kan effektivt motstå korrosjon og sikre langsiktig bruk av utstyr.

    •Lav partikkelfrigjøring: Siden keramikk har ekstremt lav partikkelfrigjøring, vil de knapt produsere partikler under håndteringsprosessen, og dermed redusere risikoen for kontaminering av waferen.

    •God motstand mot høye temperaturer: I noen prosesser må wafere håndteres i et miljø med høy temperatur, og høytemperaturmotstanden til keramiske materialers waferhåndteringsrobot gjør dem i stand til å tilpasse seg disse tøffe miljøene.

    •Elektrisk isolasjon: Keramikk er naturlige elektriske isolatorer, som er avgjørende for prosessering av prosesser som involverer strøm og kan forhindre statisk elektrisitet fra å påvirke wafere.

Konvensjonelt waferhåndteringsutstyr er laget av aluminium, VetekSemi Wafer Handling SiC Båt laget av SiC har mange fordeler. SiC er kjent for sin utmerkede mekaniske styrke, suverene termiske stabilitet og korrosjonsbestandighet. Disse egenskapene gjør det til et ideelt materiale for Wafer Handling Robotic Arm hvor renslighet, presisjon og pålitelighet er avgjørende.

Med den kontinuerlige utviklingen av halvlederteknologi har størrelsen på wafere gradvis økt, noe som har stilt høyere krav til design og produksjon av Wafer Handling End Effector. I fremtiden, med forbedring av automatiseringsteknologi, vil presisjonen, hastigheten og påliteligheten til End Effector for Wafer Handling fortsette å bli bedre.

Som et av kjerneutstyret i halvlederproduksjon, inntar waferhåndteringsroboter en viktig posisjon i halvlederfabrikker på grunn av deres høye renslighet, korrosjonsbestandighet og høye temperaturstabilitet. VeTek Semiconductor kan gi kundene tilpassede Wafer Handling End Effector-produkter og forhånds- og ettersalgstjenester, og ser frem til din konsultasjon.

VeTekSemWafer Handling End Effector: