CVD SiC Focus Ring

Som grunnlaget for moderne elektroniske enheter og informasjonsteknologi, har halvlederteknologi blitt en uunnværlig del av dagens samfunn. Fra smarttelefoner til datamaskiner, kommunikasjonsutstyr, medisinsk utstyr og solceller, nesten all moderne teknologi er avhengig av produksjon og bruk av halvlederenheter.

Ettersom kravene til funksjonell integrering og ytelse av elektroniske enheter fortsetter å øke, utvikles og forbedres også halvlederprosessteknologien hele tiden. Som kjerneleddet i halvlederteknologi, bestemmer etseprosessen direkte strukturen og egenskapene til enheten.

Etseprosessen brukes til å nøyaktig fjerne eller justere materialet på overflaten av halvlederen for å danne ønsket struktur og kretsmønster. Disse strukturene bestemmer ytelsen og funksjonaliteten til halvlederenheter. Etseprosessen er i stand til å oppnå presisjon på nanometernivå, som er grunnlaget for produksjon av integrerte kretser med høy tetthet og høy ytelse (IC).

CVD SiC Focus Ring er en kjernekomponent i tørretsing, hovedsakelig brukt til å fokusere plasma for å få den til å ha høyere tetthet og energi på waferoverflaten. Den har som funksjon å fordele gass jevnt. VeTek Semiconductor vokser SiC lag for lag gjennom CVD-prosessen og får til slutt CVD SiC Focus Ring. Den forberedte CVD SiC Focus Ring kan perfekt oppfylle kravene til etseprosessen.

CVD SiC Focus Ring er utmerket i mekaniske egenskaper, kjemiske egenskaper, termisk ledningsevne, motstand mot høye temperaturer, motstand mot ioneetsing, etc.

● Høy tetthet reduserer etsevolumet

● Høyt båndgap og utmerket isolasjon

● Høy varmeledningsevne, lav ekspansjonskoeffisient og motstand mot varmestøt

● Høy elastisitet og god mekanisk slagfasthet

● Høy hardhet, slitestyrke og korrosjonsbestandighet

VeTek Semiconductorhar de ledende CVD SiC Focus Ring-behandlingsevnene i Kina. I mellomtiden hjelper VeTek Semiconductors modne tekniske team og salgsteam oss med å gi kundene de mest passende fokusringproduktene. Å velge VeTek halvleder betyr å samarbeide med et selskap som er forpliktet til å flytte grensene forCVD silisiumkarbid innovasjon.

Med sterk vekt på kvalitet, ytelse og kundetilfredshet leverer vi produkter som ikke bare oppfyller, men overgår de strenge kravene til halvlederindustrien. La oss hjelpe deg med å oppnå større effektivitet, pålitelighet og suksess i driften din med våre avanserte  CVD silisiumkarbidløsninger.

SEM DATA FOR CVD SIC FILM

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg

VeTek SemiconductorCVD SiC Focus Ring-produkter butikker: