CVD SiC belegg stiv filt

Som en viktig del av SiC-beleggets halvmånegrafittdeler, spiller CVD SiC-belegg av stiv filt en viktig rolle i varmekonservering under SiC-epitaksialvekstprosessen. VeTek Semiconductor er en moden CVD SiC belegg stiv filt produsent og leverandør, som kan gi kundene egnede og utmerkede CVD SiC belegg stiv filt produkter. VeTek Semiconductor ser frem til å bli din langsiktige partner i epitaksialindustrien.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

CVD SiC belegg stiv filt er en komponent oppnådd ved CVD SiC belegg på overflaten av grafitt stiv filt, som fungerer som et varmeisolasjonslag.CVD SiC-belegghar utmerkede egenskaper som høy temperaturbestandighet, utmerkede mekaniske egenskaper, kjemisk stabilitet, god varmeledningsevne, elektrisk isolasjon og utmerket oksidasjonsmotstand. Så CVD SiC-belegg av stiv filt har god styrke og høy temperaturbestandighet, og brukes vanligvis til varmeisolering og støtte av epitaksiale reaksjonskamre.

Høy renhet grafitt stiv filt egenskaper:

● Høy temperaturmotstand: CVD SiC belegg stiv filt tåler temperaturer på opptil 1000 ℃ eller mer, avhengig av type materiale.

● Kjemisk stabilitet: CVD SiC-belegg stiv filt kan forbli stabil i det kjemiske miljøet med epitaksial vekst og motstå erosjon av korrosive gasser.

● Termisk isolasjonsytelse: CVD SiC-belegg av stiv filt har god termisk isolasjonseffekt og kan effektivt forhindre varme fra å spre seg fra reaksjonskammeret.

● Mekanisk styrke: SiC-belegg hardfilt har god mekanisk styrke og stivhet, slik at den fortsatt kan opprettholde formen og støtte andre komponenter ved høye temperaturer.

Stiv grafittfiltFunksjon:

● Termisk isolasjon: CVD SiC belegg stiv filt gir termisk isolasjon forSiC epitaksialreaksjonskamre, opprettholder miljøet med høy temperatur i kammeret, og sikrer stabiliteten til epitaksial vekst.

● Strukturell støtte: CVD SiC belegg stiv filt gir støtte forhalvmåne delerog andre komponenter for å forhindre mulig deformasjon eller skade under høy temperatur og høyt trykk.

● Gassstrømkontroll: Det hjelper til med å kontrollere strømmen og distribusjonen av gass i reaksjonskammeret, og sikrer jevnheten til gassen i forskjellige områder, og forbedrer dermed kvaliteten på det epitaksiale laget.

VeTek Semiconductor kan gi deg tilpasset CVD SiC-belegg stiv filt i henhold til dine behov. VeTek Semiconductor venter på din henvendelse.

de Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg:

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg
Eiendom	Typisk verdi
Krystallstruktur	FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert
Tetthet	3,21 g/cm³
Hardhet	2500 Vickers hardhet (500 g belastning)
Korn dege	2~10μm
Kjemisk renhet	Kjemisk renhet 99,99995 %
Varmekapasitet	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Bøyestyrke	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt bøyning, 1300 ℃
Termisk ledningsevne	300W·m^-1·K^-1
Termisk ekspansjon (CTE)	4,5×10^-6K^-1